王秀琼
- 作品数:5 被引量:8H指数:2
- 供职机构:湖南大学材料科学与工程学院材料测试研究中心更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:理学化学工程更多>>
- 热丝CVD法金刚石膜生长速度研究
- 1995年
- 本文使用热丝CVD法着重研究了基底表面的处理、工作气压、碳化物的含量、基底温度、灯丝温度以及基底与灯丝间距离等对金刚石膜生长速度所产生的影响,并在以上研究的基础上采取措施,优化工艺参数。
- 杨巧勤赵立华李绍禄苏玉长陈本敬王秀琼杜海清
- 关键词:金刚石膜晶体生长
- 金刚石薄膜研究的进展
- 1992年
- 一、概况金刚石墨膜可以充分发挥金刚石优异的性能,可广泛应用于力学、热学、电子学、光学等多项尖端技术领域,如刀具、集成电路和激光的散热片,红外窗口、高温半导体等,是一种很有发展前途的新型的功能材料。由于在许多不同材料上可以以气相沉积金刚石薄膜,这种涂覆技术的进展更激起了大家的兴趣,具有各种形态和不同物理性质的金刚石薄膜已经获得成功,在某些情况下。
- 陈本敬苏玉长李绍禄杨巧勤王秀琼
- 关键词:金刚石
- 热解法生长金刚石薄膜的形貌分析被引量:2
- 1990年
- 本文利用扫描电镜对热解化学汽相沉积法生长的金刚石薄膜组织进行了观察分析,看到了九种不同形貌的金刚石薄膜组织,讨论了这些组织的特点。
- 陈本敬王秀琼杨巧勤苏玉长
- 关键词:热解法化学气相沉积金刚石
- CVD金刚石薄膜热稳定性分析
- 1993年
- 应用 TG-DTA 热分析仪,对不同结构致密程度和结晶完好程度的热丝 CVD 金刚石薄膜样品进行热稳定性分析,并讨论了影响金刚石薄膜抗氧化能力的因素。
- 苏堤陈本敬王秀琼
- 关键词:金刚石薄膜热重分析
- CVD人造金刚石薄膜生长机理探讨被引量:6
- 1993年
- 本文依据实验数据,提出了 CVD 金刚石薄膜生长机理方面的几点看法。认为甲烷的充分离解不利于金刚石生长,生长金刚石的活性物质主要是活性络合物(H…H…CH_3)~*。
- 苏堤陈本敬王秀琼苏玉长杨巧勤
- 关键词:金刚石薄膜活性基团络合物CVD