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肖清泉

作品数:100 被引量:155H指数:7
供职机构:贵州大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金国际科技合作与交流专项项目贵州省自然科学基金更多>>
相关领域:理学电子电信自动化与计算机技术一般工业技术更多>>

文献类型

  • 48篇期刊文章
  • 47篇专利
  • 3篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 25篇理学
  • 17篇电子电信
  • 9篇自动化与计算...
  • 6篇一般工业技术
  • 4篇电气工程
  • 3篇金属学及工艺
  • 3篇机械工程
  • 2篇文化科学
  • 1篇化学工程
  • 1篇石油与天然气...

主题

  • 32篇溅射
  • 27篇磁控
  • 27篇磁控溅射
  • 26篇半导体
  • 17篇退火
  • 14篇半导体材料
  • 13篇MG2SI
  • 11篇真空
  • 11篇SUB
  • 11篇MG_2SI
  • 10篇真空退火
  • 10篇真空退火炉
  • 10篇退火炉
  • 10篇环境友好
  • 10篇FESI
  • 8篇导体
  • 8篇半导体薄膜
  • 7篇掺杂
  • 6篇电性质
  • 5篇电子结构

机构

  • 94篇贵州大学
  • 5篇贵州师范大学
  • 5篇厦门大学
  • 3篇安顺学院
  • 1篇中国科学院北...
  • 1篇中国电信股份...
  • 1篇贵州电子信息...
  • 1篇格林威治大学
  • 1篇湖北民族大学

作者

  • 99篇肖清泉
  • 79篇谢泉
  • 59篇张晋敏
  • 33篇陈茜
  • 26篇廖杨芳
  • 14篇范梦慧
  • 14篇黄晋
  • 14篇谢晶
  • 13篇梁枫
  • 11篇余志强
  • 10篇章竞予
  • 9篇梁艳
  • 9篇曾武贤
  • 9篇房迪
  • 8篇赵珂杰
  • 8篇王坤
  • 8篇杨云良
  • 6篇杨吟野
  • 5篇任雪勇
  • 5篇刘小军

传媒

  • 9篇功能材料
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  • 4篇物理学报
  • 4篇材料导报
  • 3篇电子元件与材...
  • 2篇半导体技术
  • 2篇原子与分子物...
  • 2篇真空
  • 1篇Journa...
  • 1篇山西科技
  • 1篇信阳师范学院...
  • 1篇红外与毫米波...
  • 1篇发光学报
  • 1篇电子制作
  • 1篇光谱学与光谱...
  • 1篇电气电子教学...
  • 1篇人工晶体学报
  • 1篇文教资料
  • 1篇重庆工学院学...
  • 1篇湖南工程学院...

年份

  • 3篇2024
  • 2篇2023
  • 3篇2022
  • 2篇2021
  • 3篇2020
  • 9篇2019
  • 3篇2018
  • 7篇2017
  • 11篇2016
  • 9篇2015
  • 1篇2014
  • 3篇2013
  • 4篇2012
  • 3篇2011
  • 10篇2010
  • 7篇2009
  • 4篇2008
  • 13篇2007
  • 2篇2006
100 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
Mg_2Si薄膜的磁控溅射制备及表征被引量:1
2011年
采用直流磁控溅射的方法在Si(100)衬底上制备了Mg2Si外延半导体薄膜。通过XRD和FESEM对Mg2Si薄膜的晶体结构和表面形貌进行了表征,分析了溅射功率对Mg2Si薄膜制备的影响,得到了Mg2Si薄膜在不同溅射功率下的外延生长特性。结果表明,在Si(100)衬底上,MgzSi薄膜具有(220)的择优生长特性,并且在50~80W的溅射功率范围内,随着溅射功率的增加,Mg2Si外延薄膜的衍射峰强度逐渐增强。
余志强谢泉肖清泉
关键词:磁控溅射MG2SI溅射功率
磁控溅射制备FeSi膜的性质
2007年
本文利用JGP-560CⅧ型带空气锁的超高真空多功能溅射系统在Si(100)和玻璃基底上沉积了介质薄膜、半导体薄膜、金属薄膜和磁性薄膜,通过实验研究得到各种薄膜较好的镀膜条件;并采用可变入射角椭圆偏振光谱仪对其中一些薄膜的光学性质进行了分析,研究了制备条件对薄膜在可见光范围内光学性质的影响;还研究了直流溅射、射频溅射、反应溅射的特点和它们的适用范围。
余平张勇肖清泉张晋敏
关键词:磁控溅射椭偏仪反应溅射
石墨和石墨烯填充导电硅橡胶的拉敏特性研究被引量:6
2015年
以107室温硫化硅橡胶作为橡胶基体,石墨和石墨烯纳米薄片为导电填料,用常温加压固化的方法制备出导电硅橡胶。研究了石墨含量及拉力对导电硅橡胶电阻的影响以及填充石墨烯对导电硅橡胶导电性能的影响。结果表明:仅添加石墨,且石墨质量分数为41.2%时,拉敏性能最佳;在导电填料总含量为质量分数35.5%-41.2%时,添加0.04 g石墨烯能有效改善其导电性能,但拉力敏感性降低。
牟雪婷谢泉肖清泉郭笑天熊锡成
关键词:石墨石墨烯导电硅橡胶电阻
纳米TiO_2薄膜的低温烧结制备及表征被引量:3
2007年
采用改进的溶胶-凝胶法令TiO2在普通玻璃载玻片表面浸渍提拉成膜,再经150℃热处理15min。用阶梯厚度仪、XRD、SEM、XPS、AFM、UV-vis吸收光谱和降解亚甲基蓝实验对所成薄膜的厚度、晶粒大小、表面形貌、吸光性和光催化性能进行了表征。研究结果表明:薄膜为类微晶玻璃态,其纳米粒子晶型为单一锐钛矿型,粒径在10~50nm,薄膜表面均匀、致密,具有良好紫外-可见吸收性和光催化活性。
李玉花肖清泉陈朝凤黄东升程一兵曾人杰
关键词:TIO2薄膜SOL-GEL法UV-VIS
基于β-FeSi_2薄膜的太阳能电池研究被引量:1
2010年
介绍了β-FeSi2的结构,β-FeSi2薄膜的光电特性以及β-FeSi2薄膜在太阳能电池方面的应用,指出了需要加强研究的方面.
熊锡成谢泉张晋敏肖清泉王朋乔罗倩
关键词:晶体结构光电性质太阳能电池
制备Mn掺杂β-FeSi<Sub>2</Sub>薄膜的工艺方法
本发明公开了一种磁控溅射方法制备Mn掺杂β-FeSi<Sub>2</Sub>薄膜的工艺方法,其特征在于:它包括以下过程:第一,清洗Si片;第二,采用磁控溅射方法,在Si片衬底上沉积Mn/Fe或Fe/Mn双层膜,或Fe/M...
谢泉张晋敏肖清泉曾武贤梁艳王衍马道京
Preparation and Characterization of Mg2Si Thin Films Grown by Magnetron Sputtering
Ecologically friendly semiconducting Mg2Si thin films were grown by magnetron sputtering technique on Si(100) ...
肖清泉
一种智能车位锁及其控制方法
本发明公开了一种智能车位锁及其控制方法,该智能车位锁包括埋入地面的固定套筒以及设置在固定套筒内的升降筒,所述的升降筒与设置在固定套筒内的电机主轴连接,在固定套筒的底部还设置有控制箱,在控制箱内设置有与电机连接的电源以及单...
谢泉廖杨芳吴宏仙房迪王善兰刘小军梁枫肖清泉张晋敏陈茜马瑞谢晶范梦慧黄晋章竞予
电子束蒸发法制备环境友好半导体材料Mg<Sub>2</Sub>Si薄膜工艺
本发明公开了一种电子束蒸发法制备环境友好半导体材料Mg<Sub>2</Sub>Si薄膜工艺。其过程为:将清洗好的Si片置于蒸镀室内,对蒸镀室抽真空并保持。先将电子束聚焦光斑调宽,预蒸发1~2min,再正式开始蒸镀。蒸镀时...
谢泉肖清泉赵珂杰张晋敏陈茜余志强
一种磁性Fe3Si颗粒膜的制备方法
本发明公开了一种磁性Fe3Si颗粒膜的制备工艺,它包括下述步骤:首先,选取单晶Si片作衬底,清洗吹干;然后在衬底上先溅射沉积一层Si膜,再溅射沉积一层Fe膜,形成Si/Si/Fe结构,使Fe膜和Si膜的膜厚比约为3:1;...
谢泉谢晶刘栋高赐国张晋敏肖清泉陈茜廖杨芳范梦慧黄晋
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