范兆岩
- 作品数：5 被引量：4H指数：1
- 供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 电热激励揩振式硅微梁压力传感器特性研究及便携式压力测试仪的研制
- 微结构谐振式压力传感器是一种用频率变化来反映外界压力变化的传感器件，因其尺寸小、精度高、易于与数字设备接口而具有广阔的应用前景。本文对电热激励谐振式硅微梁压力传感器的开环／闭环特性、测试方法及便携式压力测试仪的设计和研制...
- 范兆岩
- 关键词：谐振式压力传感器微电子机械系统闭环系统温度补偿
- 文献传递
- 热激励硅谐振梁压力传感器闭环数据采集系统被引量：3
- 2003年
- 利用正反馈闭环谐振原理 ,采用偏置交流激振、一倍频拾振的方法 ,设计了闭环谐振电路和相应的数据采集电路 ,并对该电路进行了综合调试 .实验结果表明 ,该系统实现了该传感器频率信号的自动跟踪和信号转换 ,以及快速、准确采集压力数据的功能 ,采集频率范围为 30～ 10 0kHz ,频率采集精度为± 1Hz,温度采集精度为 0 0 3℃ .
- 范兆岩崔大付陈德勇高晓童
- 关键词：数据采集系统
- 电热激励谐振式硅微梁压力传感器特性研究及便携式压力测试仪的研制
- 微结构谐振式压力传感器是一种用频率变化来反映外界压力变化的传感器件,因其尺寸小、精度高、易于与数字设备接口而具有广阔的应用前景.该文对电热激励振式硅微梁压力传感器的开环/闭环特性、测试方法及便携式压力测试仪的设计和研制进...
- 范兆岩
- 关键词：谐振式压力传感器微电子机械系统闭环系统温度补偿
- 文献传递
- 一种半岛型结构谐振梁压力传感器被引量：1
- 2003年
- 提出了一种新型结构压力传感器 ,器件由上下两硅片键合而成 ,上硅片制作半岛型结构氮化硅谐振梁 ,下硅片制作矩形压力膜。应用有限元软件对器件结构及灵敏度进行了计算机模拟分析 ,器件利用MEMS技术研制并采用电热激励压阻拾振方式进行了测试。
- 陈德勇崔大付高晓童范兆岩王利
- 关键词：谐振梁压力传感器微电子机械系统有限元模拟
- 一种半岛型结构谐振梁压力传感器
- 提出了一种新型结构压力传感器,器件由上下两硅片键合而成,上硅片制作半岛型结构氮化硅谐振梁,下硅片制作矩形压力膜.应用有限元软件对器件结构及灵敏度进行了计算机模拟分析,器件利用MEMS技术研制并采用电热激励压阻拾振方式进行...
- 陈德勇崔大付高晓童范兆岩王利
- 关键词：谐振梁压力传感器微电子机械系统有限元模拟灵敏度
- 文献传递
