葛杨翔
- 作品数：11 被引量：20H指数：2
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：金属学及工艺机械工程电子电信理学更多>>
- 超精表面纳米尺度划痕检测系统的研究
- 电子产品高集成度与高性能化的发展,对超精表面和亚表面无损伤性要求越来越高。为了检测纳米尺度的表面微划痕,基于原子力显微镜思想,选用硅微探针工作在轻敲模式,通过外差干涉测量振幅变化,z向反馈实现微划痕成像,构建了一套微划痕...
- 廖小华葛杨翔李玉和李庆祥
- 关键词：划痕轻敲模式外差干涉原子力显微镜
- 文献传递
- 一种多模式原子力探针扫描系统
- 一种多模式原子力探针扫描系统，属于纳米表面检测技术领域。为了能同时满足高分辨率和大范围检测的要求，本发明公开了一种多模式原子力探针扫描系统，包括光学测量单元、扫描探测单元和伺服控制单元三个部分，所述扫描探测单元包括承载样...
- 李玉和王东生李庆祥葛杨翔
- 文献传递
- 一种多模式原子力探针扫描系统
- 一种多模式原子力探针扫描系统，属于纳米表面检测技术领域。为了能同时满足高分辨率和大范围检测的要求，本发明公开了一种多模式原子力探针扫描系统，包括光学测量单元、扫描探测单元和伺服控制单元三个部分，所述扫描探测单元包括承载样...
- 李玉和王东生李庆祥葛杨翔
- 文献传递
- 超精表面缺陷检测系统的实验研究
- 电子产品高度集成化与高性能化发展,对超精表面及亚表面无损伤性要求越来越高.为实现纳米尺度分辨率、大视场表面损伤检测,利用原子力微悬臂探针设计了一种新型超精表面缺陷探测系统,采用柔性机构进行微悬臂探针俯仰与倾斜度微调,利用...
- 李玉和李庆祥王东生葛杨翔廖小华
- 关键词：柔性铰链压电双晶片激光干涉
- 文献传递
- 纳米级精度分光路双频干涉度量系统的设计被引量：2
- 2006年
- 为完成快速、精确的外观轮廓度量,设计了一种新型纳米级精度分光路双频干涉度量系统。系统由低频差双频激光干涉度量模块和微探头及二维工作台两部分组成。微探针以轻敲式接近样品至几十纳米时,受原子力作用发生偏转,利用双频干涉模块度量其纵向偏转量,并对样品进行梳状式度量得到外观形貌。根据双频激光的实际光源,对原有双频干涉度量理论进行了改进提高。进行了系统组建和实验验证。结果表明:系统具有纳米级精度,可用于超精样品外观轮廓度量。
- 葛杨翔王东生李玉和李庆祥
- 关键词：双频激光干涉压电陶瓷柔性铰链
- 超精表面缺陷检测系统的实验研究被引量：8
- 2005年
- 电子产品高度集成化与高性能化发展,对超精表面及亚表面无损伤性要求越来越高。为实现纳米尺度分辨率、大视场表面损伤检测,利用原子力微悬臂探针设计了一种新型超精表面缺陷探测系统,采用柔性机构进行微悬臂探针俯仰与倾斜度微调,利用压电双晶片实现接触、非接触以及轻敲3种不同探测模式。系统特性实验表明:该探测系统位移分辨率可达2 nm,共振频率90 Hz,满足超精表面缺陷检测系统性能要求。
- 李玉和李庆祥王东生葛杨翔廖小华
- 关键词：微探头柔性铰链压电双晶片激光干涉
- 纳米精度双频激光外差干涉检测系统设计与研究
- 葛杨翔
- 关键词：双频激光干涉光电探测
- 压电双晶片的静动态特性分析与测量被引量：7
- 2006年
- 在忽略剪切振动、弯曲振动、扭转振动和横效应振动的近似条件下,分析了压电双晶片的纵效应振动。从压电方程和波动方程出发,推导出了厚度伸缩振动模式的阻抗频响和导纳频响,并在此基础上得到了纵效应振动的一般导纳公式。推导出纵效应振动的等效电路,绘制出阻抗频率响应曲线。另外,采用有限元软件对压电双晶片进行了静态变形、动态特性分析,同时进行了静态和动态测试。将理论计算、有限元分析和实验测试结果进行比对分析,三者结果吻合。
- 葛杨翔王东生李玉和李庆祥
- 关键词：压电双晶片等效电路有限元分析
- 超光滑表面粗糙度检测系统的研究被引量：1
- 2005年
- 超精加工技术的不断发展,对光滑表面粗糙度检测精度要求越来越高。采用显微相移干涉技术,设计软件算法实现超光滑表面任意横向或纵向截面线粗糙度以及面粗糙度在线检测与三维动态显示,初步实验表明,该系统测量精度达纳米量级,满足超光滑表面粗糙度检测性能要求。
- 李会雨李玉和李庆祥廖小华葛杨翔
- 关键词：相移干涉超光滑表面粗糙度
- 超精表面纳米尺度划痕检测系统的研究被引量：2
- 2005年
- 电子产品高集成度与高性能化的发展,对超精表面和亚表面无损伤性要求越来越高。为了检测纳米尺度的表面微划痕,基于原子力显微镜思想,选用硅微探针工作在轻敲模式,通过外差干涉测量振幅变化,z向反馈实现微划痕成像,构建了一套微划痕检测实验系统。初步实验表明:检测系统达到了纳米级精度,满足了划痕检测性能要求。
- 廖小华葛杨翔李玉和李庆祥
- 关键词：划痕轻敲模式外差干涉原子力显微镜
