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文献类型

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  • 1篇专利

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇机械工程

主题

  • 2篇加速度
  • 2篇加速度计
  • 1篇单模
  • 1篇单模传输
  • 1篇衍射
  • 1篇衍射理论
  • 1篇英文
  • 1篇扫描电镜
  • 1篇矢量衍射
  • 1篇矢量衍射理论
  • 1篇探测器
  • 1篇模场
  • 1篇模场分布
  • 1篇抗电磁干扰
  • 1篇激光
  • 1篇激光光源
  • 1篇脊形
  • 1篇脊形波导
  • 1篇光电
  • 1篇光电探测

机构

  • 3篇北京航空航天...

作者

  • 3篇迟媛媛
  • 3篇周震
  • 3篇冯丽爽
  • 2篇姚保寅
  • 1篇王俊杰
  • 1篇刘惠兰
  • 1篇王坤博
  • 1篇武学英

传媒

  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 3篇2011
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
可调纳米光栅及纳米光栅加速度计及其加工方法
本发明公开了一种可调纳米光栅及纳米光栅加速度计及其加工方法。可调纳米光栅包括可动子光栅和固定子光栅,采用聚焦离子束/扫描电镜双束系统加工,精度高,周期一致性好。可动子光栅和固定子光栅的多个单光栅上下交叉排列,梁连接有质量...
冯丽爽周震姚保寅刘惠兰迟媛媛
聚合物脊形波导的单模结构设计及模场分析
脊形波导是构成多种光电器件的基本结构,利用有效折射率法对聚合物电光调制器的脊形波导的单模传输条件进行分析,确定了其结构参数。并基于有限差分光束传输法(FD-BPM)模拟分析了该聚合物脊形波导的横向模场分布,以及传输模式随...
武学英周震冯丽爽王坤博迟媛媛王俊杰
关键词:脊形波导单模传输模场分布
微光机电加速度计的研究现状及发展(英文)被引量:3
2011年
对目前正成为研究热点的微光机电(MOEMS)加速度计的原理和结构特点进行分析,总结了MOEMS加速度计的分类和发展趋势。针对微-纳光栅加速度计,分析了基于干涉效应的微米光栅加速度计和基于亚波长结构有效折射率变化的纳米光栅加速度计的结构和原理,其精度可达ng,并成功应用到地震监测中。重点分析了基于聚合物的新型光波导加速度计的结构和性能。微环谐振式加速度计测量精度高,性能可"裁剪",但长期稳定性是制约其应用的主要问题。光力加速度计利用原子进行加速度测量,克服了传统悬臂梁结构长期稳定性差的缺点,具有极高的测量精度。对这几种加速度计的技术特点和主要指标进行比较,并初步探讨了用于惯性领域中的MOEMS加速度计的发展方向和应用前景。
冯丽爽迟媛媛周震姚保寅
关键词:抗电磁干扰
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