万正芬
- 作品数：3 被引量：2H指数：1
- 供职机构：浙江大学更多>>
- 发文基金：浙江省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：化学工程理学电子电信更多>>
- 氧化铟薄膜制备及其特性研究被引量：2
- 2010年
- 采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备氧化铟薄膜,通过测试原子力显微镜、X射线衍射、X射线光电子谱、紫外可见分光光度计以及霍尔效应,研究了氧化铟薄膜的结构和光、电特性.实验发现,氧化铟薄膜表面粗糙度随着生长温度的升高而增大.X射线衍射结果表明薄膜为立方结构的多晶体,并且随着生长温度的升高,可以看到氧化铟薄膜的晶粒变大以及半高宽减小,这也说明结晶质量的改善.在可见光范围的透射率超过90%.同时,在氩气氛围下制备的薄膜迁移率最大,其电阻率、霍尔迁移率和电子浓度分别达到了0.31Ω.cm、9.69 cm2/(V.s)和1×1018cm-3.退火处理可以改善氩氧氛围下制备的薄膜的电学性能.
- 原子健朱夏明王雄张莹莹万正芬邱东江吴惠桢杜滨阳
- 关键词：氧化铟射频磁控溅射表面形貌X射线衍射电学特性
- ZnO薄膜光致发光的表面等离子体增强效应
- 采用S(i100)做衬底、射频磁控溅射技术制备ZnO薄膜。利用激发光直接正面入射Ag/ZnO薄膜,研究了ZnO薄膜的荧光增强。发现ZnO荧光强度和Ag膜厚度密切相关,当Ag的厚度为7nm时ZnO薄膜光致发光增强了20倍。...
- 万正芬徐天宁吴惠桢原子健邱东江
- 关键词：ZNO薄膜表面等离子体荧光增强光致发光
- 文献传递
- 以表面等离子体为媒介的氧化物薄膜光致发光增强研究
- 表面等离子体共振已经成为一种增强材料和器件发光的有效方法。利用金属表面自由电子振荡与材料发光的相互作用,产生共振从而实现材料发光增强。氧化锌(ZnO)是一种Ⅱ-Ⅵ族直接、宽带隙化合物半导体材料,常温下ZnO的禁带宽度为3...
- 万正芬
- 关键词：氧化铟氧化锌薄膜表面等离子体共振射频磁控溅射
- 文献传递
