刘正堂
- 作品数：185 被引量：690H指数：13
- 供职机构：西北工业大学材料学院更多>>
- 发文基金：中国航空科学基金国家自然科学基金西北工业大学基础研究基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学一般工业技术化学工程更多>>
- 一种p型导电薄膜Nb<Sub>x</Sub>W<Sub>1‑x</Sub>S<Sub>2</Sub>及制备方法
- 本发明涉及一种p型导电薄膜Nb<Sub>x</Sub>W<Sub>1‑x</Sub>S<Sub>2</Sub>及制备方法，在WS<Sub>2</Sub>中掺入Nb元素，受主掺杂即形成p型半导体。Nb掺入WS<Sub>2<...
- 冯丽萍李大鹏杜志楠张晓东张兴元刘正堂
- 文献传递
- Y_2O_3薄膜热应力分布的有限元模拟被引量：3
- 2009年
- 对采用射频磁控溅射法制备的Y_2O_3红外光学薄膜的热应力进行了分析,随着沉积温度的升高,薄膜内热应力变大;并通过计算机对热应力分布进行了模拟,剪切力随沉积温度升高而变大,且在薄膜边缘处具有极大值。
- 刘其军刘正堂唐斌闫锋
- 关键词：热应力Y2O3有限元
- 退火时间对Cu-Al-O薄膜性能影响的研究被引量：1
- 2013年
- 通过制备Cu-Al-O薄膜并对其进行退火处理,研究了退火时间对薄膜形貌、结构以及紫外-可见透过率、带隙、中红外透过率的影响。研究结果表明:随着退火时间的增加,薄膜开始晶化,5.0 h时薄膜中出现裂纹,同时出现AlCu合金相;紫外-可见透过率随退火时间的增加而降低;中红外透过率随退火时间的增加先增加后降低;Cu-Al-O薄膜的直接带隙随退火时间的增加而降低。
- 高倩倩刘正堂冯丽萍田浩
- 关键词：退火时间透过率
- 软膜紫外光固化纳米压印制备等离子体纳米孔结构的工艺优化
- 2011年
- 利用软膜紫外光固化纳米压印技术和反应离子刻蚀技术在玻璃衬底上制备了等离子体纳米孔阵列。为了实现高分辨低成本软膜紫外光固化纳米压印技术在生物传感领域的应用和产业化,必须对压印的一些具体工艺参数如压印压力进行优化。在这项工作中,压印压力最小化到10 psi,结果表明这一数值足以保证图案的精确复制以及图案转移的保真度。最后,利用反应离子刻蚀的方法去除残余光胶,并用剥离的方法进行图案转移,成功地制备出了均匀性良好的金纳米孔阵列。为了证明金属纳米周期结构在生物传感上的应用,使该阵列表面吸附蛋白质分子,结果观察到明显的透射峰偏移。
- 陈静刘正堂Anne-Marie Haghiri-Gosnet]
- 关键词：生物传感
- 极板间距对反应溅射Ge_xC_(1-x)薄膜的影响被引量：3
- 1998年
- 利用射频磁控反应溅射法，以Ar、CH4为原料气体，在较宽的工艺参数范围内制备出了GexC1－x薄膜，研究了极板间距对沉积的影响。结果表明，随极板间距的减小，沉积速率增大，薄膜的均匀性变差，薄膜中Ge／C的原子比增加.
- 宋建全刘正堂朱景芝郑修麟
- 关键词：半导体
- 蓝宝石衬底表面SiO2薄膜的应力分析被引量：3
- 2008年
- 采用射频磁控反应溅射法分别在Si和蓝宝石衬底上沉积SiO_2薄膜。通过改变沉积薄膜的工艺参数,考察反应气体流量比、沉积温度、射频功率等因素对SiO_2薄膜内应力的影响。采用压痕裂纹法分析了镀膜前后蓝宝石的表面应力。结果表明:制备SiO_2薄膜时,工艺参数影响SiO_2薄膜的成分,当O_2/Ar流量比值为1.25,衬底温度为300℃,射频功率为100 W时,可以制备出化学计量比的SiO_2薄膜,此时薄膜中的内应力较小;制备的SiO_2薄膜呈压应力状态,镀SiO_2薄膜可以改变蓝宝石的表面应力,蓝宝石的表面应力已由原来的拉应力变为压应力。
- 冯丽萍刘正堂
- 关键词：蓝宝石二氧化硅薄膜内应力磁控反应溅射
- 电场敏感智能水凝胶的研究进展被引量：11
- 2008年
- 水凝胶对于环境微小的物理化学刺激,如温度、pH值、离子强度、电场、磁场、光、压力等能够通过感知和自身作功来响应外界环境变化,因此水凝胶具有"智能凝胶"、"软性机械"之称。在众多外界响应条件中,电场由于易操作易调控等优点使得电场响应水凝胶具有更广阔的应用前景。本文对近年来已见报道的几类典型的电场敏感水凝胶进行了较为详细的综述。同时介绍了静电场、渗透压等电场敏感水凝胶的响应机理及其在人工爬虫、化学阀和仿生驱动器等方面的应用。
- 廖列文刘正堂岳航勃崔英德
- 关键词：水凝胶
- 构建创新实验教学平台的实践与探索被引量：42
- 2006年
- 对原有的实验教学体系进行改革,构建了材料类创新实验平台,提出实验室建立、基金保障及创新实验的一般教学过程。
- 孙晓燕刘正堂
- 关键词：教学改革材料学
- 一种具有抗反射表面的ZnS红外光学窗口及其制备方法
- 本发明公开了一种具有抗反射表面的ZnS红外光学窗口及其制备方法。所述的ZnS红外光学窗口的抗反射表面是由ZnS衬底上柱状或孔洞面形的二维亚波长结构单元通过周期性排列而构成的二维亚波长结构表面。制备时，先通过光刻技术把图形...
- 李阳平刘正堂徐启远武倩
- 文献传递
- 环氧脂肪酸稀土的合成及其对PVC热稳定作用的研究被引量：37
- 2001年
- 制备了环氧基保留完好的高纯度环氧脂肪酸稀土。研究发现环氧脂肪酸稀土对PVC的热稳定作用类似于硬脂酸稀土 ,具有长期型热稳定剂的特征 ,但其热稳定效能明显优于后者 ,可代替硫醇辛基锡达 5 0 %而不降低热稳定性 ,而硬脂酸稀土只能代替约 2 5 %。
- 吴茂英刘正堂崔英德
- 关键词：聚氯乙烯热稳定剂
