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刘银元
作品数:
3
被引量:3
H指数:1
供职机构:
中南大学
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发文基金:
中国博士后科学基金
国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
一般工业技术
环境科学与工程
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合作作者
杨声海
中南大学
唐谟堂
中南大学
邱冠周
中南大学
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机构
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中南大学
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刘银元
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杨声海
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稀有金属材料...
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2011
1篇
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高压电解电容用钽粉的制备
刘银元
文献传递
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高压电解电容器用钽粉的制备
钽电解电容器具有体积小、容量大、漏电流小、性能稳定和可靠性高的优点,广泛应用于军事、航空航天、电子等领域。由于高压电解电容器用钽阳极材料的生产工艺流程长、影响因素多,导致电容器粉性能稳定性差。研究了钽粉制备工艺条件和钽粉...
刘银元
关键词:
钽粉
击穿电压
电性能
文献传递
乙醇钽化学气相沉积制备Ta_2O_5薄膜研究进展
被引量:3
2007年
Ta2O5薄膜层具有较高的介电常数、折射率以及和ULSI加工过程中的相容性,因而将在硅芯片栅层材料、动态随机存储器、减反膜、气敏传感器、太阳能光伏电池面板介电层等方面得到应用。对以Ta(OC2H5)5为原料,通过常规金属有机化合物气相沉积、光致化学气相沉积、等离子增强化学气相沉积、原子层化学气相沉积和脉冲化学气相沉积法制备Ta2O5薄膜进行了评述,并对这些方法存在的问题进行了分析。
杨声海
刘银元
邱冠周
唐谟堂
关键词:
化学气相沉积
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