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吴志顺
作品数:
4
被引量:5
H指数:1
供职机构:
华侨大学
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发文基金:
国家自然科学基金
中央高校基本科研业务费专项资金
教育部“新世纪优秀人才支持计划”
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相关领域:
自动化与计算机技术
机械工程
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合作作者
崔长彩
华侨大学机电及自动化学院
叶瑞芳
华侨大学机电及自动化学院
李兵
华侨大学
黄辉
华侨大学
黄春棋
华侨大学
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吴志顺
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范伟
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黄辉
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李兵
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周晓林
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胡捷
传媒
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中国机械工程
1篇
第23届过程...
年份
4篇
2012
共
4
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被引量排序
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白光垂直扫描干涉仪控制系统设计及优化
物体表面的质量将直接影响到其使用功能特性,也是评定加工工艺好坏的重要依据,同时机械加工技术、光学技术和微电子技术的发展对于表面形貌测量技术及方法提出了更高的要求。白光垂直扫描干涉法作为一种常用的表面形貌光学测量方法,具有...
吴志顺
关键词:
白光干涉仪
干涉条纹
表面形貌测量
文献传递
基于阈值判定法的白光干涉仪自动扫描技术研究
被引量:5
2012年
为了解决实际操作中人工寻找干涉条纹费时、不准确和干涉扫描范围难以精确确定等问题,提出了一种自动扫描技术,实现了白光干涉仪的自动对焦和干涉扫描范围的自动确定。该技术采用全新的基于图像灰度方差变化的方法。首先,计算图像灰度方差变化比值;然后,将该比值与预先设定的阈值进行比较,判断干涉条纹初始和结束位置;最后,根据这两个位置自动确定干涉扫描范围。实验证明:当阈值取0.5时,采用粗精双级结构的白光干涉仪能在3min内准确完成1.2μm被测高度的自动扫描过程,约是手动调节速度的两倍。该技术提高了白光干涉仪的自动化水平及使用效率。
吴志顺
崔长彩
叶瑞芳
黄辉
李兵
黄春棋
关键词:
白光干涉
干涉条纹
图像处理
垂直扫描白光干涉仪控制系统研究
为提高垂直扫描白光干涉仪的测量精度,采用粗精双级控制结构分别单独控制对焦与垂直扫描两个过程。基于自动扫描技术驱动步进电机单轴驱动器完成对干涉区域的自动搜索;针对压电陶瓷微位移器的非线性和迟滞特性,采用多项式拟合方法对其进...
叶瑞芳
崔长彩
吴志顺
关键词:
白光干涉仪
控制系统
压电陶瓷
文献传递
一种新型位移工作台
本实用新型提出一种新型位移工作台,包括传动连接在一起的工作台和传动机构;上述传动机构包括传动连接在一起的宏传动机构和微传动机构。采用上述技术方案后,本实用新型的新型位移工作台,工作台与宏传动机构和微传动机构传动连接,宏传...
叶瑞芳
崔长彩
范伟
周晓林
吴志顺
胡捷
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