2024年8月31日
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朱效立
作品数:
155
被引量:122
H指数:6
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
机械工程
理学
核科学技术
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合作作者
谢常青
兰州大学物理科学与技术学院
刘明
兰州大学物理科学与技术学院
李海亮
北京工业大学激光工程研究院
李冬梅
中国科学院微电子研究所
牛洁斌
中国科学院微电子研究所纳米加工...
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朱效立
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2009
11篇
2008
4篇
2007
1篇
2005
1篇
2004
共
155
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微光刻与电子束光刻技术
自从1958年美国德克萨斯公司试制了世界上第一块平面集成电路开始算起,在短短的五十余年中,微电子技术及微纳米技术以令世人震惊的速度突飞猛进地发展,创造了人间奇迹.作为微电子技术与纳米科学技术工艺基础的微光刻与电子束光刻技...
陈宝钦
谢常青
刘明
赵珉
吴璇
牛洁斌
任黎明
王琴
朱效立
史丽娜
徐秋霞
一种大高宽比衍射光学元件的制作方法
本发明公开了一种大高宽比衍射光学元件的制作方法,该方法采用电子束直写制作X射线曝光掩模板,采用接触式曝光实现透射衍射光学元件的制作,在透射薄膜衬底面溅射电镀种子层,然后旋涂负性光刻胶,再次利用X射线曝光,并显影电镀刻蚀电...
谢常青
李海亮
史丽娜
朱效立
刘明
文献传递
复合光子筛投影式光刻系统
本发明涉及微纳加工技术领域,公开了一种复合光子筛投影式光刻系统,该系统包括依次放置的照明系统、掩模板、复合光子筛和衬底,其中:照明系统,用于产生入射光,并将该入射光照射至掩模板;掩模板,用于提供复合光子筛成像的物方,入射...
谢常青
高南
华一磊
朱效立
李海亮
史丽娜
李冬梅
刘明
一种高谱分辨与宽谱测量范围的透射光栅谱仪
本发明提供了一种高谱分辨与宽谱测量范围的透射光栅谱仪,所述的透射光栅谱仪包括入射狭缝、透射光栅、条纹相机以及与条纹相机相匹配的光阴极狭缝和光阴极;物体发出的X射线通过入射狭缝,经透射光栅色散,形成两个分辨率不同的光谱,两...
易涛
王传珂
刘慎业
王保清
李晋
朱效立
谢长青
文献传递
LED配光透镜曲面构造方法和LED配光透镜
本发明提供了一种LED配光透镜曲面构造方法和LED配光透镜,按照能量等分原则将LED光源划分成预设份数的子光源,并将确定的照明区域划分成与所述LED光源相同份数且每份面积相等的照明网格;按照能量守恒定律建立每份子光源和每...
谢常青
辛将
朱效立
刘明
文献传递
光子筛及其制作方法
本发明实施例公开了一种光子筛及其制作方法。所述光子筛包括:透光衬底;位于所述透光衬底上的不透光多层膜,所述不透光多层膜包括多层相间设置的金属膜和介质膜;设置在所述不透光多层膜上、呈多个环带状分布的多个小孔,每一环带上的多...
李海亮
史丽娜
朱效立
李冬梅
谢常青
刘明
文献传递
一种亚波长极紫外金属透射光栅及其制作方法
本发明公开了一种亚波长极紫外金属透射光栅及其制作方法。该方法包括:在双面抛光的硅基衬底的背面制备氮化硅自支撑薄膜窗口;在硅基衬底正面的氮化硅薄膜上旋涂电子束抗蚀剂HSQ;对该HSQ进行电子束直写曝光,形成光栅线条和包围该...
李海亮
谢常青
刘明
李冬梅
史丽娜
朱效立
文献传递
微纳光学结构制备技术及应用
<正>本文首先简要介绍了近年来国外微纳光学结构制备技术的一些重要进展。接着报道了我们所发展的基于电子束+X射线+接近式光学的混合光刻制作微纳光学结构技术。基于我们的微纳光学结构加工平台,建立了微纳光子学器件复杂图形微光刻...
谢常青
朱效立
牛洁斌
李海亮
刘明
陈宝钦
胡媛
史丽娜
文献传递
图形化装置及其使用方法
本发明公开了一种图形化装置及其使用方法,所述图形化装置包括:探针,用于配合腐蚀液在衬底表面形成预设图形,其中,在腐蚀液环境中,探针与衬底表面接触后,衬底的接触部分被溶解;以及探针驱动装置,用于驱动探针沿所述预设图形的轨迹...
李海亮
牛洁斌
王冠亚
朱效立
谢常青
叶甜春
文献传递
基于硫系相变材料GST的干法显影方法
本发明公开了一种基于硫系相变材料GST的干法显影方法,包括:在衬底上沉积一层Ge<Sub>2</Sub>Sb<Sub>2</Sub>Te<Sub>5</Sub>薄膜;根据预设图形使用电子束对Ge<Sub>2</Sub>S...
何佩谣
谢常青
朱效立
牛洁斌
叶甜春
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