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林爱民

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室更多>>
相关领域：航空宇航科学技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇航空宇航科学...

机构

  • 1篇中国科学院上...

作者

  • 1篇林爱民
  • 1篇解健芳
  • 1篇杨根庆

传媒

  • 1篇功能材料与器...

年份

  • 1篇1999
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
双框架微机械陀螺制备关键技术
1999年
研究了对双框架微机械陀螺性能有重要影响的关键制备技术，即不去胶条件下的电铸厚度检测、控制技术，以及结构层内应力的检测、控制技术。在此基础上采用本实验室自对准的准LIGA工艺制备出陀螺结构，其活动区面积为1．0×1．0mm2，框架厚度4μm。经加电测试，已观测到内、外框架在空气中的振动。
林爱民牛蒙年解健芳杨根庆
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