柳文军
- 作品数：119 被引量：142H指数：7
- 供职机构：深圳大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金深圳市科技计划项目广东省自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信自动化与计算机技术一般工业技术更多>>
- 柔性衬底上AZO薄膜的附着力特性研究被引量：1
- 2011年
- 使用脉冲激光沉积(PLD)方法在柔性衬底PMMA和PET上制备了具有高c轴择优取向的AZO(ZnO∶Al)薄膜。通过X射线衍射(XRD)、紫外可见分光光度计(UV-Vis)和纳米划痕仪,研究了在不同衬底下生长的薄膜样品的晶体结构、光学性能和附着力。结果表明,两种柔性衬底上生长的AZO薄膜都是单一的ZnO六方相,可见光范围内光学透过率均大于85%;PMMA、PET衬底上AZO薄膜的临界载荷数值分别为31.31mN和16.97mN,PET衬底上ITO薄膜的临界载荷数值为40.55mN。
- 曹培江赖国霞柳文军贾芳朱德亮马晓翠吕有明
- 关键词：ZNO薄膜脉冲激光沉积附着力
- 高镁含量六方相MgZnO薄膜及其制备方法
- 本发明公开了一种六方相MgZnO薄膜及其制备方法，在缺氧气氛下，采用低Mg掺杂浓度的MgZnO陶瓷靶进行脉冲激光沉积，在衬底上沉积得到高Mg掺杂浓度的六方相MgZnO薄膜。其在PLD技术中利用缺氧导致的非平衡生长过程，可...
- 吕有明朱德亮曹培江马晓翠柳文军贾芳陈吉星
- 文献传递
- n-ZnO/i-ZnO/p-GaN异质结发光二极管的制备及发光特性的调制
- 曾华曹培江吕有明韩舜曾玉祥贾芳柳文军朱德亮马晓翠
- 关键词：ZNO
- Al-Al_2O_3-Ni隧道结中的表面粗糙度效应
- 2004年
- 用真空蒸发镀膜法在光滑的玻璃基片和粗糙的CaF2薄膜表面上制备了Al Al2O3 Ni隧道结,观测了CaF2薄膜的表面粗糙度对隧道结伏安特性的影响,首次观测到这种界面粗糙结的光发射.采用梯形势垒模型计算伏安特性,并与实验伏安特性拟合,得到了结的有效势垒参数.结果表明,与界面光滑的结比较,界面粗糙的结的有效势垒宽度较窄,有效势垒面积较小.这可归因为在粗糙的Al2O3表面投射式的沉积Ni原子时,在Al2O3 Ni界面留下了空隙.同时分析了结的发光机理,讨论了影响发光效率的因素.
- 柳文军蔡振生欧阳华马晓翠舒启清
- 关键词：表面粗糙度发光巨磁电阻效应
- 一种环栅结构场效应晶体管及其制备方法
- 本发明适用于半导体器件，提供了一种环栅结构场效应晶体管，包括衬底、沉积在所述衬底上的二氧化硅层、分别沉积在所述二氧化硅层上的栅极、源极和漏极，所述栅极包括有源层、包围所述有源层的绝缘层及包围所述绝缘层的金属层，所述绝缘层...
- 何佳铸刘新科李奎龙陈乐何祝兵俞文杰吕有明韩舜曹培江柳文军曾玉祥贾芳朱德亮洪家伟
- 文献传递
- 阴极电沉积ZnO薄膜的取向控制生长
- 随着取向的不同，ZnO薄膜在许多性质方面都表现出较大差别，因此在生长过程中控制ZnO薄膜的取向对于其实际应用是非常重要的。目前文献报道的用各种物理或化学方法制备的择优取向ZnO薄膜基本上都是沿c轴(<002>轴)生长的。...
- 柳文军曹培江贾芳朱德亮马晓翠吕有明
- 关键词：氧化锌
- 文献传递
- 紫外探测器及其制备方法
- 本申请属于探测器技术领域，尤其涉及一种紫外探测器的制备方法，包括步骤：获取衬底层，在所述衬底层上沉积MgZnO靶材，形成MgZnO晶种层；在所述MgZnO晶种层上生长MgZnO纳米棒，形成MgZnO纳米棒阵列层；在所述M...
- 曹培江王庆栾迪吕有明朱德亮柳文军韩舜刘新科许望颖方明曾玉祥
- 文献传递
- 一种二硫化钼薄膜的制备方法及二硫化钼薄膜
- 本发明公开一种二硫化钼薄膜的制备方法及二硫化钼薄膜，使用化学气相沉积法(CVD)在镀有氧化物缓冲层的硅衬底上直接生长大面积、高质量、低缺陷的硫化钼(MoS<Sub>2</Sub>)薄膜，并创新性地实现MoS<Sub>2<...
- 刘新科何佳铸吕有明韩舜曹培江柳文军曾玉祥贾芳朱德亮
- 文献传递
- 一种新型鳍式场效应晶体管
- 本实用新型适用于晶体管，提供了一种新型鳍式场效应晶体管，包括衬底以及鳍式结构，鳍式结构由下至上依次包括：覆盖于衬底上具备高介电常数的第一绝缘层，其中部向上延伸出一鳍状凸起；覆盖于第一绝缘层上的有源层，其具有用于包裹鳍状凸...
- 刘新科何佳铸刘强俞文杰吕有明韩舜曹培江柳文军曾玉祥贾芳朱德亮
- 文献传递
- 一种立方结构MgZnO薄膜的制备方法
- 本发明涉及半导体材料制备领域，提供一种立方结构MgZnO薄膜的制备方法，其包括如下步骤：制备Mg<Sub>0.5</Sub>Zn<Sub>0.5</Sub>O靶材；将衬底放入腔体中，加热所述衬底至400℃～500℃，通入...
- 韩舜吕有明朱德亮曹培江马晓翠柳文军贾芳邵玉坤
- 文献传递
