栗敏
- 作品数：3 被引量：7H指数：2
- 供职机构：上海大学理学院物理系更多>>
- 发文基金：上海市教育委员会创新基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信更多>>
- 磁控溅射SiC/SiN薄膜用作减反射膜的研究与在线磁控溅射设备方案设计
- 利用太阳能电池发电是解决能源问题和环境问题的重要途径之一，目前80％以上的太阳能电池是由晶体硅材料制备成的，太阳能电池制备工艺中，在硅片上做一层减反射薄膜是很重要的一道工序，它可以很大程度上提高电池的转换效率。目前工业生...
- 栗敏
- 关键词：磁控溅射X射线衍射仪原子力显微镜
- 文献传递
- 射频溅射法制备的纳米硅薄膜的能带结构和I-V特性(英文)被引量：2
- 2009年
- 用高频溅射法在P型硅衬底上生长了纳米硅薄膜,衬底温度控制在95℃左右,工作气体选用H2+Ar,氢气的分压控制在31%到70%,同时改变薄膜的沉积时间。Tauc曲线显示出用射频溅射法制备的薄膜是一种宽带隙材料。结合实验数据,在HQD理论基础上,给出了这种薄膜的能带结构图,并在理论和实验上分别对薄膜的I-V特性进行了研究。
- 赵占霞栗敏詹颜王德明马忠权孙铁囤
- 关键词：纳米硅薄膜
- 沉积压强对Sc掺杂ZnO薄膜性能的影响被引量：5
- 2010年
- 利用射频磁控溅射方法,采用Sc2O3掺杂(质量百分比2%)ZnO为靶材在石英玻璃上制备透明导电ZnO:Sc(SZO)薄膜。用X射线衍射仪、分光光度计及霍尔测试仪等对样品进行表征,分析了沉积压强从0.3Pa到2.0Pa的变化对SZO薄膜的微结构及光学特性的影响。XRD研究结果表明所有样品都是六角密堆积结构,而且溅射压强对SZO薄膜的微结构有着显著的影响。所有SZO薄膜的透过率在可见光区域均大于85%,近紫外区域由于吸收,透射率大大降低。
- 缪存星赵占霞栗敏徐飞马忠权
- 关键词：射频磁控溅射溅射压强透明导电氧化物
