2025年1月10日
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王允
作品数:
203
被引量:98
H指数:6
供职机构:
北京理工大学
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重大科学仪器设备开发专项
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相关领域:
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合作作者
赵维谦
北京理工大学光电学院精密光电测...
邱丽荣
北京理工大学光电学院精密光电测...
杨帅
北京理工大学
崔晗
北京理工大学
盛忠
北京理工大学光电学院
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王允
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2011
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2009
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反射式激光共焦曲率半径测量方法与装置
本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种反射式激光共焦曲率半径测量方法与装置。该方法利用激光共焦光强响应曲线峰值点与会聚点精确对应这一特性,移动被测镜对物镜焦点及其后表面顶点进行聚焦测量获得被测镜位置差值L<Sub>1<...
赵维谦
李志刚
王允
文献传递
大承载气浮回转工作台的调心技术
被引量:1
2017年
为了实现大口径光学元件表面轮廓的高精度测量,提出了一种大承载气浮回转工作台的调心技术,并研制了一套具有偏心自动调整功能的测控系统。该系统主要由精密气浮回转轴、台达PLC、数显千分表和轮廓仪工作台组成。利用VC++的PLC串口通讯和偏心调整软件的控制,实现了轮廓仪的自动调心功能。
高冠
刘恩涛
张恒利
马飞
王允
关键词:
应用光学
大口径光学元件
气浮
偏心调整
激光差动共焦成像/检测新技术及其仪器化研究进展
光学测量领域存在一个共性问题,由于受衍射极限的限制,聚焦焦斑呈现为弥散的艾里斑,其结果制约了光学测量系统分辨能力、定焦能力和多参数探测能力的提高,这在高空间分辨能力的激光共焦显微成像仪器和高精度的激光干涉元件参数测量仪器...
赵维谦
邱丽荣
王允
关键词:
激光干涉
高精度球面元件参数测量方法研究进展
本文从球面元件的参数测量需求出发,对现有元件参数测量方法进行了介绍和分析总结,发现现有测量方法的共同技术瓶颈是如何实现高精度定焦,且球面元件参数测量方法的未来发展趋势是高精度、非接触综合测量。本文提出了一种可实现球面元件...
王允
邱丽荣
赵维谦
激光分光瞳共焦显微镜系统研制
被引量:1
2017年
为了满足生物类等样品对大工作距和高分辨率共焦显微镜的需求,将分光瞳技术与激光共焦显微技术结合应用到成像系统上。阐述了激光分光瞳共焦显微成像原理,首次成功搭建了相应的显微镜成像测量系统。理论分析和实验表明:分光瞳共焦显微技术独特的非共轴结构使系统的轴向分辨力是相同数值孔径物镜单轴系统的3倍以上,对理论高度为100nm的台阶样品进行成像测试,得到的样品三维形貌,成像质量良好。
胡谢琼
王允
邱丽荣
赵维谦
张旭升
朱恪
关键词:
光学测量
显微镜系统
成像
分辨率
激光差动共焦图谱显微成像方法与装置
本发明属于光学显微成像及光谱测量技术领域,涉及一种高空间分辨激光差动共焦图谱成像方法与装置。本发明的核心思想是融合差动共焦探测和光谱探测技术,并利用二向色分光系统(13)对瑞利光和拉曼散射光进行无损分离,其中,拉曼散射光...
赵维谦
崔晗
邱丽荣
王允
文献传递
分光瞳激光共焦布里渊-拉曼光谱测量方法及装置
本发明涉及一种分光瞳激光共焦布里渊-拉曼光谱测量方法及装置,属于显微光谱成像技术领域。该装置包括产生激发光束的光源系统、测量物镜、照明光瞳、收集光瞳、二向色分光装置、分光镜、拉曼光谱探测装置、布里渊光谱探测装置、分光瞳激...
赵维谦
邱丽荣
盛忠
王允
文献传递
差动共焦定面干涉靶丸内表面缺陷检测方法与装置
本发明涉及差动共焦定面干涉靶丸内表面缺陷检测方法及装置,属于光学成像与检测技术领域。该方法利用差动共焦光强响应曲线的过零点精确定位靶丸内表面(被测面)和相机(探测面)的轴向位置,以此实现内表面准确对焦成像;在干涉光路中采...
赵维谦
杨帅
王允
邱丽荣
文献传递
共焦Raman-LIBS光谱探测的飞秒激光加工监测融合方法与装置
本发明涉及共焦Raman‑LIBS光谱探测的飞秒激光加工监测融合方法与装置,属于激光精密检测技术、飞秒激光加工制造技术领域。本发明将激光共焦轴向监测模块与飞秒激光加工系统有机融合,利用共焦系统曲线峰值点对样品轴向位置进行...
王允
邱丽荣
赵维谦
文献传递
差动共焦定面干涉靶丸内、外表面缺陷检测方法与装置
本发明涉及差动共焦定面干涉靶丸内、外表面缺陷检测方法及装置,属于光学成像与检测技术领域。该方法首次利用差动共焦光强响应曲线高分辨、高灵敏的过零点为判断依据来精准定位靶丸(被测面)和相机(探测面)的轴向位置,以此分别实现靶...
赵维谦
杨帅
王允
邱丽荣
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