田光磊
- 作品数：12 被引量：55H指数：4
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：上海市光科技项目国家高技术研究发展计划江苏省高校自然科学研究项目更多>>
- 相关领域：理学电子电信机械工程更多>>
- 沉积参量及时效时间对SiO_2薄膜残余应力的影响被引量：14
- 2005年
- SiO2 薄膜由电子束蒸发方法沉积而成。用GPI数字波面光学干涉仪测量了不同沉积条件下玻璃基底镀膜前后曲率半径的变化,并确定了 SiO2 薄膜中的残余应力。在其他条件相同的情况下,当沉积温度由 190 ℃升高到350 ℃时,SiO2 薄膜中的压应力由-156 MPa增大为-289 MPa。氧分压由3.0×10-3 Pa升高到13.0×10-3 Pa时,SiO2 薄膜中的应力由-223.5 MPa变为20.4 MPa。通过对薄膜折射率的测量,发现薄膜的堆积密度随沉积条件的改变也发生了规律性的变化。应力的变化主要是由于沉积时蒸发粒子的动能不同,导致薄膜结构不同引起的。同时,在样品的存放过程中,发现随着存放时间的延长,薄膜中的应力表现出了由压应力状态向张应力状态演变的趋势。
- 邵淑英田光磊范正修邵建达
- 关键词：薄膜光学SIO2薄膜残余应力沉积温度氧分压时效
- 制备工艺条件对薄膜微结构的影响
- 本文中我们用不同的方法在石英玻璃、YAG晶体、K9玻璃和LiNbO3晶体等几种衬底上制备了ZrO2, HfO2和TiO2薄膜,HfO2薄膜利用电子束蒸发,离子辅助和离子束溅射三种方法沉积。其中的一些样品进行了不同温度下的...
- 田光磊邵建达范正修
- 关键词：XRD晶相结构迁移率扩散激活能
- 文献传递
- 全固态激光器用晶体镀膜的研究进展被引量：6
- 2004年
- 全固态激光器(DPL)作为新一代的优质相干光源,具有广阔的应用前景。全固态激光器中使用的大量晶体给晶体镀膜的研究与发展提出了挑战。重点介绍了DPL用晶体镀膜的研究进展以及存在的问题,并对晶体镀膜的未来进行了展望。
- 谭天亚占美琼田光磊邵建达范正修
- 关键词：全固态激光器光学薄膜晶格匹配激光损伤阈值
- 制备工艺条件对薄膜微结构的影响被引量：13
- 2006年
- 用不同的方法在石英玻璃,YAG晶体,K9玻璃和LiNbO3晶体等几种衬底上制备了ZrO2,HfO2和TiO2薄膜。HfO2薄膜利用电子束蒸发(EB)、离子束辅助(IAD)和双束离子束溅射(DIBS)三种方法沉积。对其中的一些样品进行了不同温度下的退火处理,对所有的样品进行X射线衍射(XRD)测试,以获得不同条件下得到的薄膜的晶相及晶粒尺寸等的微结构参数。实验结果表明,薄膜的晶相结构以及晶粒尺寸强烈地依赖于沉积过程的各种技术参数,如衬底的种类、沉积温度、沉积方法和退火温度。利用薄膜表面扩散以及薄膜成核长大热力学原理解释了不同技术条件下的晶相结构和晶粒尺寸不同的原因。
- 田光磊申雁鸣沈健邵建达范正修
- 关键词：X射线衍射晶相结构迁移率扩散激活能
- 全固态激光器薄膜的关键技术攻关
- 张伟丽王英剑赵元安田光磊谭天亚黄建兵王涛马小凤
- 该产品除了激光器本身系统中需要相应的模片以外，在出光后的光路系统中同样需要特定性能的模片。本项目通过对腔镜的研究过程中我们为客户提供了各类全固态激光器用光学薄膜，得到客户的认可。这些都开拓了全固态激光器薄膜的应用，为该类...
- 关键词：
- 关键词：全固态
- 单晶硅材料的1064nm Nd:YAG脉冲激光损伤特性研究被引量：10
- 2005年
- 作为微电子和光电子系统中普遍使用的一种结构材料 ,单晶硅一直是人们研究的焦点。长期以来 ,人们对其电学性质进行了非常深入细致的研究 ,却疏于对其抗击强激光辐照特性的研究。随着激光通讯和光电对抗技术的发展 ,对光学材料的激光破坏特性和加固技术进行研究的需求也显得越来越迫切。本文主要对单晶硅的抗激光损伤特性进行研究 ,研究了单晶硅材料在 10 6 4nmNd :YAG激光自由脉冲输出模式和单脉冲输出模式作用下的损伤特性 ,通过对两种激光作用下单晶硅损伤形貌的分析 ,在热效应与热力耦合模型的基础上 ,对单晶硅的激光损伤机制进行了探索。
- 高卫东田光磊范正修邵建达
- 关键词：激光损伤单晶硅
- 退火对ZrO_2薄膜微结构及激光损伤阈值的影响被引量：4
- 2005年
- 利用电子束蒸发方法在Yb∶YAG晶体和熔融石英衬底上沉积单层 ZrO2 薄膜,分别在 673 K和1 073 K的温度下经过12 h退火以后,通过X射线衍射(XRD)分析了薄膜晶相,计算了薄膜的晶粒尺寸;利用表面热透镜技术获得了薄膜的吸收;测量了退火后薄膜的激光损伤阈值。实验结果表明:两种衬底上的薄膜结构受到退火温度和衬底表面结构的影响,高温退火有利于单斜相的形成,含单斜相的 ZrO2 薄膜具有较高的激光损伤阈值,而由于衬底的吸收,Yb∶YAG晶体上薄膜的损伤阈值远小于石英衬底上薄膜的损伤阈值。
- 田光磊黄建兵贺洪波邵建达
- 关键词：退火ZRO2薄膜激光损伤阈值X射线衍射弱吸收
- 真空镀膜机中修正挡板的自动切换装置
- 一种真空镀膜机中修正挡板的自动切换装置，其构成是：在采用多个膜料蒸发源和对应的多块修正挡板的真空镀膜机中，对每一膜料蒸发源的每一块修正挡板设置一个伞式机械装置，该伞式机械装置包括在靠近膜料蒸发源真空室底板上竖直地安装一修...
- 董磊田光磊马小凤易葵邵建达范正修孙伟金沈健
- 文献传递
- 利用总积分散射仪对光学薄膜表面散射特性的研究被引量：3
- 2009年
- 利用总积分散射仪对不同条件下制备的金属银膜、Y2O3稳定ZrO2(YSZ)薄膜、TiO2薄膜和1064 nm与532 nm双波长增透膜的表面均方根(RMS)粗糙度和散射特性的变化规律进行了系统研究,并与样品的制备条件、生长过程、材料组成及光学特性等各方面相结合,对测量结果做出了合理解释,从而使总积分散射测量在其他领域的研究得以扩展和应用.
- 侯海虹孙喜莲田光磊吴师岗马小凤邵建达范正修
- 关键词：光学薄膜表面散射
- 真空镀膜机中修正挡板的自动切换装置
- 一种真空镀膜机中修正挡板的自动切换装置，其构成是：在采用多个膜料蒸发源和对应的多块修正挡板的真空镀膜机中，对每一膜料蒸发源的每一块修正挡板设置一个伞式机械装置，该伞式机械装置包括在靠近膜料蒸发源真空室底板上竖直地安装一修...
- 董磊田光磊马小凤易葵邵建达范正修孙伟金沈健
- 文献传递
