程伶俐
- 作品数：13 被引量：37H指数：3
- 供职机构：合肥工业大学更多>>
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- 相关领域：机械工程一般工业技术电子电信电气工程更多>>
- 纳米工作台机械机构优化设计
- 随着MEMS(微机电系统)技术的发展，微芯片、微光学元件、微机械零件以及其它各种微器件不断出现，它们的几何尺寸多在微米至亚微米量级，测量精度及分辨率要求在纳米量级，近年还出现了尺寸在数十毫米且精度要求高于数十纳米的器件。...
- 程伶俐
- 关键词：优化设计机械机构微机电系统
- 文献传递
- 泰伯效应对激光并行共焦显微系统成像影响的研究被引量：11
- 2009年
- 激光并行共焦显微系统采用微透镜阵列作为分光器件,将会不可避免地引入泰伯效应,造成沿光轴方向的多次成像。形成的这些像面中有且只有一个是正焦像面,它不仅没有边缘效应、能量更加集中,而且可以有效提高系统的测量分辨率。如何寻找正焦像面是削弱泰伯效应对测量影响的关键。实验中发现,通过增大微透镜阵列光栅常数可以增大泰伯距离,从而减弱离焦像面对测量的影响;并且设计了一种识别正、离焦像面的方法,能够准确找到正焦像面,保证了系统的测量分辨率。
- 余卿余晓芬程伶俐马文平
- 关键词：泰伯效应微透镜阵列
- 基于磁流变阻尼固紧器的工作台定位研究被引量：1
- 2010年
- 基于磁流变液制作的X向、Y向磁流变阻尼固紧器,采用新颖的横向卧式结构,解决了传统纵向立式阻尼固紧器磁流变液溢出密封和摩擦初始阻尼力较大的问题。该固紧器具有柔性阻尼和无冲击固紧工作台的双重功能,减弱了传统固紧方法带来的冲击和直线电机驱动引起的振动,并成功应用于纳米三坐标测量机,使工作台在X向、Y向的分辨率达到5nm,定位稳态波动从原来的20nm减小到5nm。
- 余晓芬马文平程伶俐
- 关键词：磁流变液纳米三坐标测量机
- 数字微镜器件用于并行共焦测量的再研究被引量：11
- 2011年
- 数字微镜器件(DMD)可以控制其中每个微镜的偏转状态,相对于其他光分束器件,它可以构建出点光源大小可变、间距可调的柔性阵列光源。在前期研究的基础上,理论上推导出该阵列光源可以用于并行共焦测量,改进了测量光路,并结合实际使用找到了合适的阵列光源参数,获知了并行共焦测量系统的纵向分辨率与点光源大小的关系,最终通过对实物的测量较完善地阐述了基于DMD的并行共焦测量系统。
- 余卿余晓芬刘文文程伶俐
- 关键词：数字微镜器件
- 压电陶瓷驱动器弹性套筒的研究被引量：1
- 2010年
- 针对未封装的压电陶瓷驱动器不能承受剪切力、使用时极易损坏,封装的压电陶瓷驱动器价格昂贵等问题,研制了一种弹性套筒作为未封装压电陶瓷驱动器的保护装置。根据弹性力学原理,对圆柱体套筒进行局部切割,形成弹性元件,产生弹性变形。改变弹性套筒的结构参数,可以优化其设计。建立了弹性套筒的驱动力模型。进行了加装弹性套筒的压电陶瓷驱动器位移特性实验,实验结果表明,该装置不影响压电陶瓷驱动器的使用性能,可以保护驱动器,而且加工简单,具有很好的实用价值。
- 程伶俐余晓芬余卿胡佳文
- 关键词：压电陶瓷驱动器微位移
- 圆筒型永磁同步直线电机大行程无过冲纳米定位驱动
- 2010年
- 为减少圆筒型永磁同步直线电机(TPMSLM)在直接驱动方式下的电磁扰动对纳米定位的影响,研究了TPMSLM定子与动子偏心安装的驱动模式,用于改变TPMSLM内部空间磁场分布,使包含电磁扰动的轴向电磁推力得到有效衰减,同时产生包含电磁扰动的径向电磁力,当两者与导轨摩擦阻尼共同作用时,可实现对电磁扰动的有效吸收.针对TPMSLM定位过冲,研究了变系数PI控制算法,用于实时改变系统的动静态驱动特性,达到对大行程驱动和纳米定位驱动的最佳控制.实验表明,TPMSLM偏心驱动模式及变系数PI控制算法能较好地满足大行程无过冲定位驱动和稳态定位波动小于10 nm的要求.
- 徐从裕余晓芬程伶俐
- 用于微纳米测量的磁流变阻尼固紧系统被引量：2
- 2010年
- 研究用新型功能材料—磁流变液制作阻尼固紧器,具有减小电机振动和实现微冲击固紧工作台的双重功能.通过有限元分析对其磁路进行了仿真,并用往复运动实验系统对其性能进行了标定.在纳米三坐标测量机上进行的纳米定位实验表明,加上磁流变阻尼固紧器后,工作台定位稳态波动从20 nm减小到5 nm以内,可实现纳米三坐标测量机纳米级定位稳态波动.
- 马文平余晓芬程伶俐余卿
- 关键词：磁流变液纳米三坐标测量机
- 压电陶瓷驱动器柔性装夹套筒
- 本发明涉及压电陶瓷驱动器柔性装夹套筒，包括套筒，套筒顶部开有通孔，套筒横向开有弹性细槽，套筒的内壁、外壁上分别成型有螺纹，套筒位于弹性细槽下部的侧壁上还开有细槽；还包括有金属球、螺杆及安装连接环，金属球可容置于套筒顶部的...
- 余晓芬程伶俐
- 文献传递
- 纳米工作台机械结构优化设计
- 随着MEMS（微机电系统）技术的发展，微芯片、微光学元件、微机械零件以及其它各种微器件不断出现，它们的几何尺寸多在微米至亚微米量级，测量精度及分辨率要求在纳米量级，近年还出现了尺寸在数十毫米且精度要求高于数十纳米的器件。...
- 程伶俐
- 文献传递
- 纳米磁悬浮二维工作台力平衡结构设计
- 2009年
- 为了消除附加力矩对纳米磁悬浮二维工作台平稳直线运动的影响,研究了工作台的磁力、重力及摩擦力等各种作用力。基于力平衡原理对纳米工作台进行了结构设计,得到了纳米电动机驱动力的作用方向和作用点坐标。在此基础上进行了工作台运动导轨直线度及重复性实验,结果表明,工作台的偏摆误差在5″以下,俯仰误差在15″以下,两种误差每毫米点的重复性均在1″左右,工作台运动平稳。
- 程伶俐余晓芬
