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许波涛

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇大行程
  • 1篇电机
  • 1篇直线电机
  • 1篇气浮轴承
  • 1篇轴承
  • 1篇注入机
  • 1篇离子注入
  • 1篇离子注入机

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇肖仁耀
  • 1篇许波涛

传媒

  • 1篇微细加工技术

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
离子注入机大行程垂直扫描系统的研制
2008年
采用垂直扫描系统是离子注入机最常用的扫描方式之一,着重阐述了一种大行程垂直扫描系统的系统构成、设计思路和实现方法。经过实际使用证明,该系统提高了离子注入机机械扫描的可靠性和稳定性。
肖仁耀许波涛
关键词：气浮轴承直线电机
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共1页<1>
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