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郭丽娟
作品数:
15
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中国科学院
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相关领域:
一般工业技术
机械工程
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合作作者
王光玉
中国科学院
张利国
中国科学院
张振厚
中国科学院
薛玉茹
中国科学院
秦柏林
中国科学院
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郭丽娟
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薛玉茹
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李昌龙
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一种多级干式真空泵的水冷系统
本实用新型涉及一种多级干式真空泵的水冷系统。包括进水管路、出水管路,冷却水经进水管路流入,进水管路分为两路,一路冷却水进入进水管路冷却干泵排气口易发热部位轴承板,冷却水在内部循环后经出水管路流出;另一路冷却水进入进水管路...
王光玉
秦柏林
房伟
郭丽娟
文献传递
多级干式真空泵人机操作装置
本实用新型涉及一种多级干式真空泵人机操作装置,包括单片机、电流驱动模块、显示屏,通讯模块以及键盘,其中单片机为控制核心,通过通讯模块接收各干式真空泵的运行参数和运行状态,输出至显示屏对各干式真空泵的运行参数和运行状态进行...
张利国
郭丽娟
薛玉茹
王光玉
张振厚
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涡旋干式真空泵
张振厚
王光玉
秦柏林
孔祥玲
郭丽娟
刘在行
张利国
薛玉茹
涡旋干式真空泵是一种真正意义上的清洁无油、高效率的真空获得设备,是生产半导体器件、集成电路、电子元件、电真空器件以及电子设备整机装备的专用设备,彻底解决了真空仪器设备的油污染问题,已成为世界上发展最快的泵种之一。国内市场...
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真空泵
一种用于无油干式真空泵双驱动主轴控制系统
本发明公开一种用于无油干式真空泵双驱动主轴控制系统,它包括双轴无油真空泵机械部分,还增设电动机控制部分;其中,双轴无油真空泵的每一根轴上分别装有电动机、定位齿轮和编码器,控制部分包括交流变频器、人机界面及CPU单元;通过...
李昌龙
王光玉
张宁
郭丽娟
张军
文献传递
一种用于无油干式真空泵双驱动主轴控制系统
本实用新型公开一种用于无油干式真空泵双驱动主轴控制系统,它包括双轴无油真空泵机械部分,还增设电动机控制部分;其中,双轴无油真空泵的每一根轴上分别装有电动机、定位齿轮和编码器,控制部分包括交流变频器、人机界面及CPU单元;...
李昌龙
王光玉
张宁
郭丽娟
张军
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集成电路用真空机组控制装置
本发明涉及一种集成电路用真空机组控制装置,具有控制单元、人机界面、开关量输入输出接口、通讯模块以及模拟量输入接口,其中控制单元为控制核心,其数字量输入/输出端通过开关量输入/输出接口分别连接真空机组的工作状态信号和真空机...
张利国
郭丽娟
薛玉茹
王光玉
张振厚
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罗茨干泵(机组)
张振厚
王光玉
秦柏林
张利国
薛玉茹
刘坤
张健
赵洪吉
刘在行
郭丽娟
郭俊辉
房伟
罗茨杆泵(机组)是集成电路(IC)芯片生产线中创造和维持清洁真空环境的关键设备,由于技术门槛高,国外大公司垄断了全球95%以上的市场份额,国内产品在工程化应用方面尚属于空白。 罗茨杆泵(机组)立项任务书的技术指标为: ...
关键词:
用于对光伏设备真空泵监测的方法及其实现系统
本发明公开一种用于对光伏设备真空泵监测的方法及其实现系统,该系统监测的方法主要设有泵参数检测和故障处理及多种控制方式程序,实现触摸屏本地控制和远程用户终端控制;该方法实现系统包括单片机处理芯片、继电器驱动模块、模拟量输入...
张宁
郭丽娟
张利国
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一种多级干式真空泵的水冷系统
本发明涉及一种多级干式真空泵的水冷系统。包括进水管路、出水管路,冷却水经进水管路流入,进水管路分为两路,一路冷却水进入进水管路冷却干泵排气口易发热部位轴承板,冷却水在内部循环后经出水管路流出;另一路冷却水进入进水管路,进...
王光玉
秦柏林
房伟
郭丽娟
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多级干式真空泵触摸屏控制装置
本发明涉及一种多级干式真空泵触摸屏控制装置,包括:液晶屏驱动模组、显示屏、电源转换模块、通讯模块、触摸屏驱动模块以及触摸屏,其中液晶屏驱动模组通过触摸屏驱动模块接收触摸屏的输入信号,液晶屏驱动模组的输出信号送至显示屏进行...
张利国
郭丽娟
薛玉茹
王光玉
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