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陆静: 作品数：191 被引量：30H指数：4; 供职机构：华侨大学更多>>; 发文基金：国家自然科学基金中央高校基本科研业务费专项资金长江学者和创新团队发展计划更多>>; 相关领域：金属学及工艺化学工程电子电信一般工业技术更多>>

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蜂窝状结构半固结磨料研磨盘的制备及应用被引量：5: 2019年; 针对传统半固结研磨盘由于盘面较软使得加工衬底面形精度难以保证的问题,提出一种蜂窝状结构的半固结磨料研磨盘的设计与制备方法。该研磨盘采用环氧树脂蜂窝结构作为支撑"骨架",减小研磨盘的变形,以保证研磨衬底的面形精度,同时采用含有金刚石磨粒的凝胶体作为半固结研磨介质实现对衬底的研磨加工,获得了较好的衬底表面质量。基于该原理制备了一套新型研磨盘,并用于蓝宝石衬底的双面研磨加工。试验结果表明,研磨后衬底表面粗糙度较小,表面划痕和裂纹少,能够获得较好的表面质量;相应地,研磨后蓝宝石衬底的面形精度不仅没有变差,反而得到很大的改善,研磨后衬底的翘曲度、弯曲度和总厚度偏差均大幅减小。另外,研磨效率也相对较高,材料去除率可达0.3～0.4μm/min。试验结果证明了该新型结构研磨盘不仅可以获得较好的表面质量和较高的研磨效率,同时还可提高衬底的面形精度,可用于面形精度要求较高的薄片衬底零件的精密研磨加工。; 王文珊王文珊赵欢胡中伟于怡青徐西鹏; 关键词：超精密加工研磨蓝宝石衬底面形精度

用于自旋转磨抛机的单晶金刚石夹具及其装夹方法: 本发明公开了用于自旋转磨抛机的单晶金刚石夹具及其装夹方法，夹具包括一本体、两滑块和两调节件；该本体顶壁具有基壁和相对基壁凸出设置的凸台，该凸台具有两朝向基壁且竖直布置的定位壁；该本体的基壁凹设有两通至本体侧壁的滑槽且两滑...; 陆静温海浪罗求发李晨艾腾峰; 文献传递

基于双旋转补偿器型穆勒矩阵椭偏仪的残余应力测量方法: 本发明提供了基于双旋转补偿器型穆勒矩阵椭偏仪的残余应力测量方法，通过双旋转补偿器型穆勒矩阵椭偏仪的起偏臂发出的调制偏振光以透射模式垂直照射在被测样件表面，透过样件后进入检偏臂，并被检偏臂里的光谱仪接收得到透射后的椭偏光谱...; 崔长彩余家华陆静胡中伟黄辉徐西鹏; 文献传递

一种用于确定单晶材料最优加工方向的方法: 本发明公开了一种用于确定单晶材料最优加工方向的方法，所述方法为制作单晶材料样品，确定单晶材料样品所有的潜在最优加工方向，对单晶材料沿着每个潜在最优加工方向进行加工；在每次加工中获取用于测评该潜在最优加工方向的评定特征；所...; 闫宁陆静徐西鹏姜峰王宁昌徐帅赵延军朱建辉; 文献传递

晶圆片侧面激光打码装置及其使用方法: 本发明提供了一种晶圆片侧面激光打码装置及其使用方法，该装置包括真空吸附平台、激光器、激光头、第一移动载体、第二移动载体、控制装置；所述真空吸附平台与所述激光头间隔一段距离设置；所述激光头设置于所述第一移动载体上并与所述激...; 温秋玲张鹏程陆静胡中伟姜峰黄辉崔长彩徐西鹏; 文献传递

超细磨料生物高分子柔性抛光膜及其制备方法: 本发明涉及一种超细磨料生物高分子柔性抛光膜及其制备方法，属于生物高分子材料和超精密加工相结合的领域。其特征是抛光膜基材为可降解的生物高分子材料，选用填充剂、持水剂和造孔剂等干燥控制化学添加剂增强抛光膜的机械性能，通过偶联...; 陆静徐西鹏黄辉宋运运; 文献传递

一种柔性抛光装置: 本发明公开了一种柔性抛光装置，包括一底板和多个抛光块。本发明针对现有技术中三种抛光方式中磨料把持和工具使用寿命中所出现的问题，提供了一种高强度的柔性抛光装置，既具有好的耐磨性，又具有一定的柔性。在保证加工质量的同时，可大...; 陆静肖平徐西鹏; 文献传递

一种柔性抛光粒子磁性排布抛光盘的制作方法: 本发明公开了一种柔性抛光粒子磁性排布抛光盘的制作方法，该柔性抛光粒子磁性排布抛光盘包括一金属盘和抛光粒子，抛光粒子通过磁化后的金属盘在上述凹槽处产生的漏磁现象吸附连接于上述凹槽内。本发明通过磁力吸附抛光粒子，能很好的保持...; 陆静肖平徐西鹏; 文献传递

激光诱导活性离子刻蚀金刚石的加工装置及加工方法: 本发明公开了激光诱导活性离子刻蚀金刚石的加工装置及加工方法，加工装置包括激光器、聚焦物镜、金刚石、样品夹具、活性靶材和工作台；该活性靶材固装在工作台上，该样品夹具夹接金刚石，且金刚石和活性靶材上下布置；该激光器发出的激光...; 温秋玲陈金鸿徐西鹏姜峰陆静崔长彩黄国钦黄辉汪晖

一种用硅烷偶联剂在磨料表面涂覆有机壳层的方法: 本发明提供一种用硅烷偶联剂在磨料表面涂覆有机壳层的方法。该涂覆方法以无机硬质磨料为内核，外壳形成有机物包覆层而制成复合磨料，主要用于磨料磨具制造行业。所述复合磨料的制备方法是以硬质磨料和硅烷偶联剂前驱体为原料，通过水解、...; 陆静徐西鹏王艳辉许永超; 文献传递