丁桂甫
- 作品数：568 被引量：726H指数：12
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划上海市科委纳米专项基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术化学工程更多>>
- 电镀阴极振动装置
- 一种机械电镀技术领域的电镀阴极振动装置，包括：电磁感应线圈、弹簧、杠杆横梁、铁片、支架、阴极夹具和基板，电磁感应线圈、弹簧的一端以及支架分别固定设置于基板上，杠杆横梁固定设置于支架上，弹簧的另一端与杠杆横梁相连接，铁片固...
- 汪红李光杨姚锦元丁桂甫苏永其孔令飞
- 航空发动机涡轮叶片原位集成高温MEMS传感器的研制被引量：2
- 2018年
- 为了满足智能高性能航空发动机高温、高振动、高冲击的苛刻工作要求,采用MEMS(Micro-elect ro-mechanical-syst em,微机电系统)薄膜技术制作了发动机涡轮叶片原位集成高温温度传感器,并进行了高温下的温度试验和振动冲击试验。试验结果表明:热电阻传感器温度的线性良好,可以实现在高温环境下的温度控制;叶片原位温度传感器及其连线系统可以在规定的苛刻的振动与冲击试验指标下安全、可靠地工作,振动与冲击之后连接特性没有变化。将该原位集成传感器应用在涡轮叶片表面,不仅可以原位测量800℃的环境温度,而且具有很高的机械强度,可以承受40g的振动和100g的冲力。
- 段力高均超丁桂甫邵靖毛成龙沈杰静波
- 关键词：传感器抗振动抗冲击航空发动机
- 基于二氧化硅薄膜的悬臂梁式点样针尖的集成制造方法
- 一种基于二氧化硅薄膜的悬臂梁式点样针尖的集成制造方法，首先在双面抛光的硅基体表面，通过热氧化生长一层二氧化硅薄膜，然后两次通过光刻胶掩膜反应离子刻蚀工艺，在氧化膜上开出储液槽窗口，形成液体导引通道，并形成悬臂梁和针尖精细...
- 丁桂甫姚锦元
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- 基于MEMS技术的芯片集成沸腾强化换热结构及其制备方法
- 本发明提供一种基于MEMS技术的芯片集成沸腾强化换热结构及其制备方法，包括导热基板，所述导热基板的表面设有支撑层，所述支撑层上设置有若干爪型结构。所述爪型结构采用表面微加工方法制备悬空金属薄片结构，并将其沿平面法向折叠后...
- 常昕悦王艳金之钰丁桂甫
- 三维多方向敏感的微型压力开关
- 一种三维多方向敏感的微型压力开关，属于微机电系统技术领域。本发明中，可动电极包括环形可动电极和水平梁两个部分，环形可动电极与蛇形水平弹簧连接，并被弹簧支撑座悬空在基底上方；固定电极为L形，L形一部分平行于基底、另一部分垂...
- 杨卓青黄韬丁桂甫赵小林
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- 一种利用磁通转向提高发电效率的微型振动能量采集装置
- 本发明公开一种利用磁通转向提高发电效率的微型振动能量采集装置，包括：基底、绝缘层、感应线圈绕组、永磁体、软磁铁芯、两侧软磁、软磁摆臂和软磁振子，永磁体布置在基底下，线圈绕组下，感应线圈固定在绝缘衬底中，绕组两侧的软磁铁芯...
- 戴旭涵孙诗赵小林向小健丁桂甫
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- 氧化石墨烯/电泳漆复合涂层及其电泳沉积制备方法
- 本发明提供一种氧化石墨烯/电泳漆复合涂层及其电泳沉积制备方法，所述涂层是一种氧化石墨烯与电泳漆构成的均匀混合涂层，即采用混合镀工艺制备的复合涂层。所述方法包括氧化石墨烯分散液的制备，电泳混合液的配制以及电泳所用电极的准备...
- 张久斌程萍王博汪红黄刚丁桂甫
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- 具有3D结构的功能复合型空气净化滤芯
- 本发明提供一种具有3D结构的功能复合型空气净化滤芯，所述滤芯具有三层结构，依次为过滤层、吸附层和杀菌层，采用的材料分别为无纺布、活性炭纤维和纳米银无纺布。采用结构功能型无纺布对悬浮粒子和PM2.5颗粒有较明显的吸附能力；...
- 王志娟姚锦元丁桂甫汪红
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- 全局互连铜镂空结构的制造方法
- 一种全局互连铜镂空结构的制造方法，属于集成电路金属互连多层结构的制造方法。包括如下步骤：(1)形成图形化的阻挡层，溅射种子层，光刻，掩膜电镀，形成图形化的铜柱子；(2)刻蚀底膜，填充牺牲层，研磨抛光，溅射种子层，光刻电镀...
- 张丛春杨春生丁桂甫刘兴刚张楷亮
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- 复合结构微复制模具
- 一种复合结构微复制模具,由微电铸结构件和金属基座两部分组成,微电铸结构件包括镍微结构及支撑层,基座采用黄铜、镍或紫铜等热膨胀系数与电铸镍相近的金属材料经精密机械加工而成,两部分通过高温焊锡或纯锡熔融健合,或通过金属过渡层...
- 丁桂甫赵小林
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