刘东升
- 作品数:7 被引量:77H指数:2
- 供职机构:河北工业大学更多>>
- 发文基金:天津市自然科学基金河北省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:电子电信机械工程自动化与计算机技术经济管理更多>>
- 两种薄层电阻测试系统探针游移误差的对比分析
- 2004年
- 从理论上分析方形四探针和直线四探针薄层电阻测试方法中探针游移所造成的系统偏差,推导出计算游移偏差的公式,并作图展示探针游移后的电阻与理想值之比的分布情况,分析了两种四探针测试方法出现最大误差的情况。用方形四探针测试方法不仅比普通直线四探针测试方法所测量的微区小,而且方形四探针测量的游移偏差小于直线四探针测量所产生的偏差。经试验发现,实际测试过程中,方形四探针只要在合理压力范围内,探针游移完全在合理范围内,能够保证测试的准确性。
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- 关键词:薄层电阻
- 基于功能方法树的车床刀架概念设计及评价被引量:3
- 2005年
- 以CA9220A实用型数控车床刀架系统的设计为例进行分析,主要进行概念设计阶段的功能分析和产生多方案方法的分析,应用功能方法树模型产生多方案的方法实际可以产生上亿个可能方案,并应用模糊评价法对产生的初步方案进行了优选,最后通过实际应用验证了功能方法树设计思想的有效性。
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- 关键词:车床刀架概念设计功能方法树
- 压力传感器的LED排光柱显示装置
- 2000年
- 外加电压通过热灵敏度漂移补偿自平衡电桥对压力传感器进行激励,其输出信号经热零点漂移补偿自平衡电桥电路后,用仪用放大器放大到满量程达5V电路,然后输送到比较电路。放大的压力值输出信号与分压电路的10个基准电压分别输入到差动放大器的正和负端。当前者大于后者时,差动放大器便输出正电平,LED导通并发光。依据发光的LED个数可判断被测压力的大小。
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- 关键词:传感器LED压力传感器发光二极管
- 四探针技术测量薄层电阻的原理及应用被引量:71
- 2004年
- 对四探针技术测试薄层电阻的原理进行了综述,重点分析了常规直线四探针法、改进范德堡法和斜置式方形Rymaszewski 法的测试原理,并应用斜置式Rymaszewski 法研制成新型的四探针测试仪,利用该仪器对样品进行了微区(300μm×300μm)薄层电阻测量,做出了样品的电阻率等值线图,为提高晶锭的质量提供了重要参考。
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- 关键词:四探针薄层电阻
- 一种改进的硅片薄层电阻及其均匀性表征方法被引量:2
- 2004年
- 概述了微区电阻测试方法及其均匀性表征方法的应用 ,利用自主研制的斜置式方形四探针微区薄层电阻测试仪 ,对P型硅芯片进行了无图形Rymaszewski法测试 ,在 3寸芯片上测试了 5 98个 3 66μm× 3 66μm方形微区的薄层电阻 ,并用等值线图表示了其分布 ,得到了薄层电阻的不均匀度及平均值 ,这种微区薄层电阻表示方法适用于评价材料质量及改进制造工艺。
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- 关键词:等值线图薄层电阻
- 工作研究在DF公司全焊接球阀生产改善中的应用研究
- 阀门在关系国计民生的重要领域有着庞大需求,是机械装备制造业的重要一环,阀门中的全焊接球阀已经迅速发展成为一种主要的阀类。纵观阀门生产企业,通常是传统手工作业为主的订单式生产模式,生产周期长,作业效率低,经常遇到紧急订单带...
- 刘东升
- 关键词:机械装备制造业全焊接球阀
- 文献传递
- 无测试图形薄层电阻测试仪及探针定位被引量:2
- 2004年
- 研制出检测 U L SI芯片的薄层电阻测试仪 ,可用于测试无图形样片电阻率的均匀性 ,用斜置的方形四探针法 ,经显微镜、摄像头及通信口接入计算机 ,从计算机显示器观察 ,用程序及伺服电机控制平台和探针移动 ,使探针处于规定的位置 ,实现自动调整、测试 ;对测试系统中的探针游移造成的定位误差进行分析 ,推导出探针游移产生误差的计算公式 ,绘制了理论及实测误差分布图 ;测出无图形 10 0 m m样品电阻率 ,并绘制成等值线 Mapping图 .
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- 关键词:薄层电阻等值线图