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周夕淋
作品数:
29
被引量:5
H指数:1
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
中国科学院战略性先导科技专项
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
自动化与计算机技术
金属学及工艺
理学
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合作作者
宋志棠
中国科学院上海微系统与信息技术...
吴良才
中国科学院上海微系统与信息技术...
饶峰
中国科学院上海微系统与信息技术...
朱敏
中国科学院上海微系统与信息技术...
彭程
中国科学院上海微系统与信息技术...
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周夕淋
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宋志棠
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一种存储器及其制作方法
本发明提供一种存储器,至少包括:衬底和依次形成于衬底上的底电极和介质层、介质层上的复合存储结构及复合存储结构上的顶电极。本发明还提供该存储器的制作方法:在清洗后的衬底上依次形成底电极和介质层;在介质层上制作贯孔;在介质层...
宋志棠
吴良才
纪兴龙
朱敏
孟云
曹良良
周夕淋
任堃
封松林
文献传递
一种相变存储器及其制备方法
本发明涉及一种相变存储器及其制备方法,所述相变存储器设有衬底(1)和若干个电极单元;所述电极单元自下至上包括刀片电极层(2)、相变材料层(3)、第一黏附层(4)、选通管材料层(5)、第二黏附层(6)、顶电极层(7);所述...
周夕淋
李程兴
宋志棠
刘卫丽
一种Ti-Sb<Sub>2</Sub>Te<Sub>3</Sub>相变存储材料
本发明涉及可用于相变存储器的Sb-Te-Ti相变薄膜材料及其制备。本发明的Sb-Te-Ti新型相变存储材料,是在Sb-Te相变材料的基础上掺入Ti而成,掺入的Ti与Sb、Te均成键,其化学通式为Sb<Sub>x</Sub...
朱敏
吴良才
宋志棠
饶峰
彭程
周夕淋
任堃
封松林
文献传递
一种界面相变存储材料、相变存储器及其制备方法
本发明涉及一种界面相变存储材料、相变存储器及其制备方法。该变存储材料包括范德华结构缓冲层以及过渡金属层与相变材料层交替堆叠组成的超晶格相变存储层。该相变存储器包括底电极层、界面相变存储材料、顶电极层。本发明通过在相变材料...
周夕淋
朱栩旭
宋志棠
宋三年
一种半导体存储器高可靠操作方法
本发明涉及一种半导体存储器高可靠操作方法,包括:使用预操作调整存储单元的写疲劳状态;每次重新调整单元写疲劳状态后,将待测单元分别操作到需要对应的初始态,然后对存储单元执行读循环操作,并获取对应的电阻值;将收集的电阻值与对...
周夕淋
王若琴
王若冰
李喜
宋志棠
丁星
用于相变存储器的Si-Sb-Te基硫族化合物相变材料
本发明提供一种用于相变存储器的Si-Sb-Te基硫族化合物相变材料,属微电子技术领域。该种材料具有高热稳定性和高结晶速度,其组分通式为(Si<Sub>a</Sub>Sb<Sub>b</Sub>Te<Sub>c</Sub>...
周夕淋
吴良才
宋志棠
饶峰
彭程
朱敏
文献传递
一种高度织构取向相变存储材料及其制备方法
本发明涉及一种高度织构取向相变存储材料及其制备方法,所述相变存储材料包括范德瓦尔斯结构缓冲层和氮硫化合物‑GeTe超晶格结构;所述超晶格结构沿垂直于衬底表面的方向层状生长。本发明用高通量的制备方法实现了具有连续组分分布且...
周夕淋
朱栩旭
宋志棠
宋三年
吴良才
文献传递
用于相变存储器的Si-Sb-Te材料
本发明揭示了一种用于相变存储器的Si-Sb-Te相变材料,其化学式为Si<Sub>x</Sub>Sb<Sub>2</Sub>Te<Sub>3</Sub>,0<x≤4,可以在电信号作用下实现高低阻值之间的转换。在经过...
饶峰
宋志棠
吴良才
任堃
周夕淋
文献传递
用于相变存储器的Al-Sb-Te系列相变材料及其制备方法
本发明公开了一种用于相变存储器的Al-Sb-Te系列相变材料及其制备方法。该相变材料是一种由铝、锑、碲三种元素组成的混合物,其通式为Al<Sub>x</Sub>(Sb<Sub>y</Sub>Te<Sub>1</Sub>)...
彭程
吴良才
饶峰
宋志棠
刘波
周夕淋
朱敏
一种相变存储器单元及其制备方法
本发明提供一种相变存储器单元及其制备方法,用于提升相变存储器中相变单元的操作速度;采用在相变存储单元的相变存储材料层中植入一层或几层锑Sb薄膜,以加快相变材料在可逆相变过程中的结晶速率。其中相变材料可以是二元的材料体系,...
周夕淋
宋志棠
吴良才
饶峰
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