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离子束溅射薄膜压力传感器被引量：1: 1993年; 对比各种成膜技术制作的传感器中,以高频溅射法者为最佳.成品有长期的稳定性能,在零位时达0.1×10^(-2)/10a水平.除满足航天、兵器、原子能等尖端技术要求外,业已广泛用于石油、化工、汽车等领域中.高频溅射制作传感器的不足处是工艺控制参数多(电压、靶距、气压等),调节范围又小,以致难于保证成品质量,因此至今只有少数国家掌握它.现介绍给读者的为离子束溅射成膜技术.它既保持了高频溅射法的优点(高熔点膜、附着力强、组成可控),同时又可克服它的缺点,保证了成膜质量,为制作长期稳定、高可靠传感器提供了一种新的生产技术.; 王洪业安志超; 关键词：离子束压力传感器溅射

LD-4型多离子束共溅射镀膜机: 安志超华德清陈特超席光荣肖友文; 该机是根据带能量的离子束轰击固体表面的溅射原理研制的半导体工艺设备。只需在真空室外转换靶位，实现一机两种镀膜技术。一是多个离子束同时轰击各自对应的靶，溅出的各个靶材原子同时淀积在一个衬底上的共溅射镀膜技术。二是各个靶材溅...; 关键词：; 关键词：镀膜机

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安志超