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彭海峰

作品数：29 被引量：37H指数：5
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 20篇专利
  • 8篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 8篇机械工程
  • 3篇电子电信
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇动力工程及工...
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇文化科学

主题

  • 23篇光学元件
  • 22篇光学
  • 13篇光刻
  • 13篇光刻物镜
  • 11篇投影光刻
  • 11篇投影光刻物镜
  • 5篇轴向
  • 5篇物镜
  • 4篇像差
  • 3篇底座
  • 3篇调节装置
  • 3篇支撑结构
  • 3篇气囊
  • 3篇流体
  • 2篇大行程
  • 2篇电机
  • 2篇电容传感器
  • 2篇心轴
  • 2篇压电驱动
  • 2篇压电驱动器

机构

  • 29篇中国科学院长...
  • 2篇空军航空大学
  • 1篇长春理工大学

作者

  • 29篇彭海峰
  • 16篇倪明阳
  • 15篇巩岩
  • 12篇赵磊
  • 11篇李显凌
  • 8篇杨怀江
  • 7篇隋永新
  • 6篇于新峰
  • 4篇陈华男
  • 4篇秦硕
  • 4篇何欣
  • 4篇华洋洋
  • 4篇孙振
  • 2篇王绍治
  • 2篇刘健
  • 2篇郭抗
  • 2篇赵阳
  • 1篇张巍
  • 1篇张德福
  • 1篇唐大为

传媒

  • 3篇光学精密工程
  • 2篇光电工程
  • 1篇激光与光电子...
  • 1篇光学学报
  • 1篇光子学报
  • 1篇第四届全国信...

年份

  • 1篇2019
  • 1篇2018
  • 4篇2017
  • 5篇2016
  • 4篇2015
  • 3篇2014
  • 8篇2013
  • 3篇2012
共 29 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
光学元件支撑组件及光学元件检测装置
本发明公开了一种光学元件支撑组件及一种光学元件的检测装置。本发明提供的光学元件支撑组件包括：密封环，用于安装光学元件；底座，用于固定所述密封环；流体通入管，所述流体通入管与所述底座相连；流体流出管，所述流体流出管与所述底...
倪明阳杨怀江隋永新彭海峰李显凌
光学元件X、Y、θ<Sub>Z</Sub>三自由度微动调整装置
光学元件X、Y、θ<Sub>Z</Sub>三自由度微动调整装置，属于光刻物镜结构设计与像差补偿领域，为解决光刻投影物镜光学元件X、Y、θ<Sub>Z</Sub>三自由度高精度调整问题，提出一种基于3-RRR平面机构的光学...
赵磊巩岩彭海峰于新峰
文献传递
光刻物镜中光学元件高精度支撑结构
光刻物镜中光学元件高精度支撑结构，属于深紫外投影光刻物镜结构设计与像差补偿领域，为解决光刻物镜中光学元件高精度支撑问题，本发明结构包括镜框和整体弹片，所述整体弹片与镜框之间通过若干螺钉固定；所述镜框内环周向均匀分布三处径...
赵磊巩岩于新峰彭海峰
文献传递
双电机光学元件轴向调节装置
双电机光学元件轴向调节装置，涉及深紫外投影光刻物镜结构设计与装调技术领域，为解决现有光学元件调心装置中存在的驱动器数量较多，且机构复杂，加工难度大的问题，该装置包括四个电容传感器、镜框、八个联接螺钉、柔顺驱动块和两个压电...
彭海峰巩岩孙振华洋洋郭抗倪明阳
文献传递
一种自适应抛光磨头及用于光学元件检测的支撑工装
本发明公开了一种自适应抛光磨头，包括：盖板，设置在所述抛光磨头的底端；导轨设置在所述抛光磨头的内部；心轴，设置在所述抛光磨头的内部并通过心轴伸出孔伸出盖板；位移传感器，设置在所述抛光磨头的内部并固定在所述位移传感器固定块...
彭海峰王绍治刘健杨怀江隋永新
文献传递
光学元件夹持装置
光学元件夹持装置，属于光学元件检测技术领域。解决了现有光学元件检测装置检测重复性差的问题。该装置包括底座和三个以上的夹持单元，每个夹持单元包括微分头、测力计、夹持头、柔性铰链支撑、导轨组件和固定调整机构，导轨组件沿中心通...
彭海峰杨怀江隋永新李显凌倪明阳
文献传递
光刻投影物镜系统中光学元件多气囊支撑装置
光刻投影物镜系统中光学元件多气囊支撑装置，属于深紫外投影光刻物镜装调技术领域，为解决现有光学元件检测装置存在的对镜片面型影响大、支撑力不均匀的问题，该装置包括光学元件、多个气囊、底座、充气管和转接头；光学元件放置于多个气...
彭海峰巩岩何欣陈华男李显凌倪明阳
文献传递
光刻投影物镜中柔性多弹片支撑方式的性能分析被引量：5
2013年
大口径光学元件的支撑技术是精密光学仪器的关键技术之一,在精密光学仪器的光学元件支撑中,多弹片支撑因其能使光学元件均匀受力且能够较好的消除热像差而得到很多应用。本文针对一种L形多弹片光学元件支撑结构做了结构设计,并对通过相应的理论推导,得到其力学性能与主要几何参数的关系;以一种典型镜片为例,对镜片在三十六点支撑方式下发生的轴向位移和镜片面形的变化做了分析,得到了轴向位移和镜片面形与弹片的三个主要几何参数的关系。结果表明,在通光口径允许情况下,可以使支撑点距离中心的距离和弹片的宽度缩短以使镜片的面型变好。本文的研究结果为这种支撑结构的实际应用提供了支持和参考。
彭海峰巩岩赵磊
光刻投影物镜系统中光学元件的轴向宏微调节装置
光刻投影物镜系统中光学元件的轴向宏微调节装置，涉及深紫外投影光刻物镜结构设计与装调技术领域，为解决现有光学元件轴向调整装置存在的调整行程小，存在倾斜误差的问题，该装置包括电容传感器、镜框、宏微调节机构和导向导轨，电容传感...
彭海峰巩岩倪明阳赵磊秦硕
文献传递
光学元件支撑组件及光学元件检测装置
本发明公开了一种光学元件支撑组件及一种光学元件的检测装置。本发明提供的光学元件支撑组件包括：密封环，用于安装光学元件；底座，用于固定所述密封环；流体通入管，所述流体通入管与所述底座相连；流体流出管，所述流体流出管与所述底...
倪明阳杨怀江隋永新彭海峰李显凌
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