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肖梦秋

作品数：3 被引量：10H指数：2
供职机构：复旦大学材料科学系更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 3篇电子电信

主题

  • 3篇二极管
  • 2篇湿敏
  • 2篇湿敏传感器
  • 2篇肖特基
  • 2篇感器
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇势垒
  • 1篇肖特基二极管
  • 1篇肖特基势垒
  • 1篇伏安特性
  • 1篇PT/TIO...
  • 1篇TIO_2薄...
  • 1篇MOCVD
  • 1篇O
  • 1篇TIO2

机构

  • 3篇复旦大学

作者

  • 3篇戎瑞芬
  • 3篇汪荣昌
  • 3篇肖梦秋
  • 2篇孙德明
  • 1篇顾志光

传媒

  • 1篇半导体技术
  • 1篇Journa...
  • 1篇传感技术学报

年份

  • 2篇1999
  • 1篇1998
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
TiO_2薄膜敏感特性研究被引量：6
1999年
利用 ＭＯＣＶＤ工艺可制备得到锐钛矿型ＴｉＯ２薄膜，在其上溅射金属 Ｐｔ并控制工艺流程的温度，Ｐｔ／ＴｉＯ２间将形成良好的金半整流接触．该Ｐｔ／ＴｉＯ２肖特基二极管在常温下表现出良好的气敏特性，响应时间短，对稳定环境中低分压气体浓度的变化反应灵敏．同时，该 Ｐｔ／ＴｉＯ２肖特基二极管还对约 ２５０－３７０ ｎｍ的紫外光敏感．本文研究了 Ｐｔ／ＴｉＯ２肖特基二极管气敏和光敏特性，分析了敏感机理．
肖梦秋汪荣昌顾志光戎瑞芬
关键词：肖特基二极管MOCVDTIO2伏安特性
Pt/TiO_2二极管湿敏传感器被引量：4
1999年
Pt常被用来在金属氧化物半导体上做肖特基接触 .在常温下 ,Pt/ Ti O2 界面处的电子电导对 Pt/ Ti O2 肖特基势垒高度的变化非常敏感 .本文描述了利用该性质制造的湿敏传感器的性能 ,并讨论了因水在 Pt/ Ti O2 界面处的化学吸附 ,引起表面态费米能级改变 ,影响 Pt/Ti O2 肖特基势垒的高度 ,从而导致了 I- V曲线的变化的物理过程 。
孙德明肖梦秋汪荣昌戎瑞芬
关键词：二极管湿敏传感器
Pt/TiO2二极管湿敏传感器
1998年
Ｐｔ常被用来在金属氧化物半导体上做肖特基接触。在常温下，Ｐｔ／ＴｉＯ２界面处的电子电导对Ｐｔ／ＴｉＯ２肖特基势垒高度的变化非常敏感。本文描述了利用该性质制造的湿敏传感器的性能，并讨论了因水在Ｐｔ／ＴｉＯ２界面处的化学吸附，引起表面Ｆｅｒｍｉ能级改变，影响Ｐｔ／ＴｉＯ２肖特基势垒的高度，从而导致了Ｉ－Ｖ曲线变化的物理过程，对器件制造过程中的工艺问题也有所论述。
孙德明肖梦秋汪荣昌戎瑞芬
关键词：湿敏传感器肖特基势垒
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