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胡宇飞

作品数:2 被引量:3H指数:1
供职机构:中国科学院上海硅酸盐研究所更多>>
相关领域:电子电信自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇晶体管
  • 2篇非晶硅
  • 2篇薄膜晶体
  • 2篇薄膜晶体管
  • 1篇氮化
  • 1篇氮化硅
  • 1篇硅薄膜
  • 1篇非晶硅薄膜
  • 1篇非晶硅薄膜晶...
  • 1篇A-SI
  • 1篇A-SI:H
  • 1篇X

机构

  • 2篇中国科学院

作者

  • 2篇胡宇飞
  • 1篇钟伯强
  • 1篇孙剑
  • 1篇潘惠英

传媒

  • 1篇无机材料学报

年份

  • 1篇1996
  • 1篇1900
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
薄膜晶体管a-Si:H/a-SiN_x界面研究被引量:3
1996年
对比a-Si:H/a-SiNx界面附近a-Si:H和体材料a-Si:H的光致发光谱(PL)发现:随着SiNx中x的增大,PL峰值向低能方向移动,相对发光强度减小。这是因为由于氮含量的增加,界面晶格不匹配加剧,导致悬挂键密度增多和深能级隙态密度增加。该观点得到C-V测试结果的证实。
胡宇飞孙剑钟伯强黄慈祥潘惠英
关键词:薄膜晶体管非晶硅氮化硅
非晶硅薄膜晶体管的界面研究
胡宇飞
共1页<1>
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