路敦武
- 作品数：48 被引量：121H指数：5
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家攀登计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程核科学技术自动化与计算机技术更多>>
- 紫外激光生物粒子计数器
- 一种紫外激光生物粒子计数器，适用于测量空气中悬浮生物粒子的直径及生物学特性。含有以紫外激光器作照明光源的紫外激光照明光路、散射光接收光路、荧光接收光路和采样气路。置于散射光接收光路上的散射光滤光片对荧光全反射，使荧光接收...
- 黄惠杰赵永凯任冰强程兆谷杜龙龙路敦武
- 文献传递
- 大口径光学元件损伤在线检测装置
- 一种大口径光学元件损伤在线检测装置，包括照明光路、损伤信号接收光路、扫描系统和图像处理系统，其特点是：采用激光照明光路，由激光光源、照明平行光管和分光镜构成；所述的损伤信号接收光路上依此设置有分光镜、接收平行光管，在接收...
- 任冰强黄惠杰张维新赵永凯刘丹韩广礼杜龙龙王树森路敦武
- 文献传递
- 接近式光刻中斜照明改善分辨率的模拟与分析被引量：4
- 2001年
- 根据菲涅尔 基尔霍夫衍射公式 ,推导出斜照明接近式光刻系统中硅片表面的光强分布 ,并在几种条件下进行了模拟数值计算 ,分析了斜照技术的实用条件及改善光刻分辨率的效果和应用前景。
- 赵永凯黄惠杰路敦武杜龙龙杨良民袁才来蒋宝财王润文
- 关键词：接近式光刻准分子激光光刻分辨率
- 白光尘埃粒子计数器的高效光学探头
- 一种白光尘埃粒子计数器的高效光学探头,含有二条相互垂直的照明光路和散射光收集光路。在照明光路上,沿着白炽灯的光源发射光束G前进的方向上,依次置有照明透镜组、光敏感区和内含球面反射镜的光陷阱。二条光路的光轴O<Sub>1<...
- 黄惠杰路敦武杜龙龙
- 文献传递
- 组装微构件吸附用玻璃针尖规范化加工工艺研究被引量：3
- 1997年
- 建立了组装微构件吸附用玻璃针尖规范化加工装置，研究了有特定要求吸附针尖的规范化加工工艺，对得到的结果进行了分析和讨论。
- 路敦武黄惠杰沈蓓军杨良民刘增水何伟
- 关键词：微机械机械加工工艺
- 远紫外激光光刻装置
- 一种远紫外激光光刻装置，包括从尾部至头部均置于防震台上，尾部是由掺钕钇铝石榴石固体激光器构成的发光源，中部是倍频结构的波长转换构件，头部是光刻结构的光刻组件。它主要适用于深层微形结构，微电子以及微小元件的微细加工。具有性...
- 沈蓓军王润文林礼煌欧阳斌路敦武
- 文献传递
- 激光LIGA工艺实验设计
- 1996年
- 文章介绍了一种用于准分子激光深层光刻实验装置的设计，并根据该设计思想进行了可行性原理实验，取得了较好的结果。
- 沈蓓军王润文路敦武黄惠杰
- 关键词：LIGA光刻准分子激光
- 深亚微米激光光刻研究被引量：1
- 1996年
- 报道用远紫外准分子激光进行亚微米光刻的实验结果。以波长为２４８．３ｎｍ的ＫｒＦ准分子激光为光源，以光管均匀器为主构成照明系统，采用带有平行平板为像差校正板的１１折反射式投影光刻物镜，在两种光刻胶上分别获得了０．６μｍ和０．
- 路敦武黄惠杰鄢雨杜龙龙高瑞昌
- 关键词：准分子激光激光光刻亚微米光刻物镜半导体
- 尘埃粒子计数器的光学传感器
- 一种尘埃粒子计数器的光学传感器,含有两条相互垂直的照明光路和散射光收集光路。在照明光路上,于光源和照明透镜组之间置有第一齐明透镜,于照明透镜组和光敏感区之间置有第二齐明透镜。在散射光收集光路上,于光敏感区和接收透镜组之间...
- 黄惠杰赵永凯杜龙龙程兆谷路敦武
- 文献传递
- 尘埃粒子的半导体激光散射测量被引量：29
- 2002年
- 以半导体激光为光源 ,建立了一个可以实时测量空气中尘埃粒子的尺寸与颗粒数浓度的光学系统。根据Mie散射理论 ,计算了该光学系统的光散射响应特性。实验结果表明 ,该系统具有高的计数准确度、计数效率和计数重复性 ,适用于洁净度检测和环境空气中尘埃粒子的粒径分布测量。
- 黄惠杰赵永凯任冰强程兆谷杜龙龙路敦武
- 关键词：半导体激光光散射
