郝俊英
- 作品数：59 被引量：101H指数：7
- 供职机构：中国科学院兰州化学物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划中国科学院“百人计划”更多>>
- 相关领域：机械工程金属学及工艺一般工业技术理学更多>>
- 一种纳米复合润滑薄膜的制备方法
- 本发明公开了一种中频磁控溅射技术制备TiSiCN纳米复合润滑薄膜的方法。本发明利用中频磁控溅射技术，以CH<Sub>4</Sub>和N<Sub>2</Sub>为反应气体溅射TiSi复合靶，通过调节复合靶中Ti和Si原子比...
- 刘维民姜金龙郝俊英石雷王鹏
- 文献传递
- Ti过渡层对NbSe_2薄膜润滑-导电性能的影响被引量：1
- 2018年
- 采用射频磁控溅射技术制备了系列金属钛(Ti)为过渡层的NbSe_2薄膜,分析了Ti过渡层的厚度对薄膜成分、结构和机械性能的影响,并研究了在大气环境下薄膜的润滑-导电性能.结果表明:改变Ti过渡层的厚度,可实现对薄膜中Se/Nb原子比和结晶度的调控.随着Ti过渡层厚度的增加,薄膜的致密度、膜-基结合强度及力学性能得到了明显改善.同时,NbSe_2薄膜维持原有(002)面择优取向,这利于薄膜的侧向滑移,从而提升了薄膜的减摩耐磨性能.然而,过厚的Ti过渡层会导致薄膜中Se/Nb原子比和结晶度下降,致使薄膜中游离金属元素含量升高. Ti过渡层的厚度超过30 nm时,虽然薄膜的结构仍然致密,且导电性能也有所增强,但其减摩耐磨性能却明显减弱.可见,适当厚度的Ti过渡层,才有助于提高NbSe_2薄膜的润滑-导电性能.
- 刘金玉隋旭东张帅拓徐书生郝俊英
- 关键词：导电润滑
- 摩擦偶件材料对非晶含氢碳薄膜摩擦学性能的影响被引量：10
- 2004年
- 利用等离子体增强化学气相沉积技术在单晶硅基底上制备了非晶含氢碳薄膜;采用Raman光谱仪、红外光谱仪和原子力显微镜等研究了碳膜的微观结构和表面形貌;采用UMT-2MT型摩擦磨损试验机考察了摩擦偶件材料对碳膜摩擦学性能的影响,并探讨了其磨损机制.结果表明:所制备的非晶含氢碳膜均匀、致密,硬度较高;当碳膜同高硬度陶瓷材料配副时,其摩擦系数低而稳定,薄膜呈现轻微擦伤和剥落磨损特征;当碳膜同低硬度的金属材料配副时,其摩擦系数高且不稳定,薄膜呈现严重粘着和磨粒磨损特征.薄膜的摩擦磨损行为同薄膜和摩擦偶件之间的相互转移有关.
- 李红轩徐洮郝俊英陈建敏周惠娣刘惠文
- 关键词：等离子体增强化学气相沉积摩擦学性能
- 固体-油脂复合润滑Ⅱ:类金刚石(DLC)薄膜在几种空间用油脂润滑下的摩擦学性能被引量：17
- 2010年
- 本文主要探讨了类金刚石（Diamond-like carbon,简称DLC）薄膜在几种空间常用的液体润滑剂如甲基氯苯基硅油（114#润滑油）、氟丙基氯苯基硅油（115#润滑油）、聚α-烯烃[PAO（201）润滑油]、全氟聚醚（Z-25润滑油）以及对应润滑脂KK-4、KK-5、KK-P（201）和601EF润滑下的摩擦学性能.结果表明：DLC薄膜与试验选用的油脂复合后表现出良好的协同效应.与DLC薄膜相比,其减摩性能得到不同程度的改善,摩擦系数降低2~6倍;其耐磨寿命提高了10多倍,起到了明显的延寿作用.
- 郝俊英王鹏刘小强刘维民
- 关键词：DLC薄膜边界润滑
- 具有纳米结构的超润滑非晶碳薄膜的制备方法
- 本发明公开了一种具有纳米结构的超润滑非晶碳薄膜的制备方法。采用射频磁控溅射物理气相沉积技术制备的薄膜，在高真空环境下具有超润滑性能的硅、铝共掺杂的含氢非晶碳薄膜，该种薄膜具有纳米网络状及类富勒烯复合的纳米结构，具有极为优...
- 郝俊英刘小强
- 文献传递
- 偏压对高功率脉冲磁控溅射法沉积MoN涂层结构及性能的影响
- 2023年
- 采用高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)方法在9Cr18钢基材上制备了MoN涂层.系统研究了不同偏压对其结构、力学性能以及摩擦学性能的影响,并优化出耐磨性优异的MoN涂层.采用场发射扫描电镜分析涂层的表面和截面形貌,采用X-射线衍射仪分析涂层的晶相结构,采用纳米压痕仪测量涂层的硬度和弹性模量,采用摩擦磨损试验机(CSM)评价涂层的摩擦磨损性能.结果表明:随着偏压的增加,涂层由柱状晶体结构向致密无特征晶体结构转变,相结构以面心立方Mo_(2)N相为主.HiPIMS方法制备的MoN涂层均表现出较高的硬度(28 GPa以上)和较好的膜基结合力(60 N左右).摩擦学性能方面,在120 V偏压下沉积得到的涂层摩擦系数最低,为0.24;而在160 V偏压下沉积的涂层磨损率最低,为1.4×10^(-8)mm^(3)/(N·m).
- 康建隋旭东杨淑燕周海斌郝俊英万勇刘维民
- 关键词：HIPIMS偏压耐磨性
- 钛硅多元掺杂类金刚石薄膜在不同气氛环境下的摩擦学性能研究被引量：4
- 2013年
- 采用中频磁控溅射技术在单晶硅表面制备了钛硅多元掺杂的含氢类金刚石薄膜.在球-盘摩擦试验机上考察了不同气氛环境对薄膜摩擦学性能的影响.利用扫描电子显微电镜和拉曼光谱分析了磨损表面形貌和转移层结构,探讨了薄膜的摩擦磨损机理.结果表明:薄膜在真空和氮气环境下摩擦系数较小、磨损率低,表现为磨粒磨损;在氧气和高湿度大气环境下摩擦系数较大、磨损率高,表现为黏着磨损;在低湿度空气环境下薄膜摩擦系数最低,表现为磨粒磨损和黏着磨损混合磨损机理;转移层发生摩擦诱导石墨化和聚乙炔链CC键双氢化两种摩擦化学过程.
- 姜金龙黄浩陈娣王琼冯旺军郝俊英
- 关键词：类金刚石薄膜中频磁控溅射摩擦学性能
- DC—RF—PECVD制备DLC薄膜的摩擦学性能研究
- 利用直流-射频等离子体增强化学气相沉积(DC-RF-PECVD)技术在单晶硅表面制备了类金刚子:(DLC)薄膜。采用Rarnan光谱和原子力显微镜(AFM)等研究了薄膜的微观结构和表面形貌,在UMT-2MT摩擦试验机上考...
- 李振军徐洮李红轩郝俊英周惠娣陈建敏
- 文献传递
- 沉积温度对钛硅共掺杂类金刚石薄膜生长、结构和力学性能的影响被引量：6
- 2014年
- 采用中频磁控溅射Ti80Si20复合靶在单晶硅表面制备了共掺杂的类金刚石薄膜.研究了沉积温度对薄膜生长速率、化学成分、结构、表面性质和力学性能的影响.结果表明:随沉积温度升高,薄膜生长速率降低,薄膜Ti和Si原子浓度增加,C原子浓度降低;在高温下沉积的薄膜具有低sp3C含量、低表面接触角、低内应力和高的硬度与弹性模量.基于亚表层注入生长模型分析了沉积温度对薄膜生长和键合结构的影响,从薄膜生长机制和微观结构解释了表面性质和力学性能的变化.
- 姜金龙黄浩王琼王善民魏智强杨华郝俊英
- 关键词：类金刚石薄膜共掺杂沉积温度
- 模拟空间原子氧辐照下X射线光电子能谱仪的原位表征功能开发
- 2023年
- 对现有的X射线光电子能谱仪进行功能开发,在不改变仪器工作原理、不影响现有功能的前提下,将研制的空间交变温度原子氧辐照装置集成到其快速进样室,重点解决集群结构的匹配和性能兼容问题,实现模拟空间交变温度原子氧辐照环境下材料的原位表征功能.采用Kapton膜的质量损失方法测试空间交变温度原子氧辐照装置的原子氧通量密度,氧气流量、偏压和微波电流均对原子氧通量密度有较大影响.系统测试表明,原子氧辐照使WS 2薄膜表面发生了严重氧化,影响了薄膜的化学组成.不同温度原子氧辐照导致了不可忽略的化学组成与结构的差异.
- 刘建剡珍郝俊英刘维民
- 关键词：原位表征
