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马世刚

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：山东大学晶体材料国家重点实验室更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇导体
  • 1篇气相沉积
  • 1篇金刚石薄膜
  • 1篇金刚石膜
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体薄膜

机构

  • 1篇山东大学

作者

  • 1篇王继扬
  • 1篇刘训民
  • 1篇马世刚
  • 1篇曲承林

传媒

  • 1篇人工晶体学报

年份

  • 1篇1996
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
电子辅助热丝CVD法合成金刚石膜被引量：3
1996年
本文采用电子辅助热丝化学气相沉积（ＥＡＣＶＤ）法合成了厚度为４４０μｍ的金刚石膜。实验结果表明，适当地选择和控制各种沉积参数，可获得高质量的金刚石膜。本文还分析和讨论了基板温度、偏流、压强和甲烷浓度对金刚石膜质量的影响以及它们之间的相互关系。
曲承林刘训民王继扬马世刚
关键词：化学气相沉积金刚石薄膜半导体薄膜
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