严楷
- 作品数：11 被引量：5H指数：2
- 供职机构：清华大学理学院化学系更多>>
- 发文基金：国家创新方法工作专项教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
- 相关领域：电子电信化学工程金属学及工艺理学更多>>
- 氢化锌铁氧体陶瓷粉光降解聚乙烯醇
- 2016年
- 含有聚乙烯醇(PVA)的废水由于其COD值高、难降解、可生化性差以及较大的表面活性不利于环境水体的复氧,造成严重的水体污染问题。氢化锌铁氧体陶瓷粉具有很好的可见及紫外光波段吸收性能,制备的氢化锌铁氧体光催化剂能够很好的降解聚乙烯醇废水,在通入臭氧和8 W的LED灯照射条件下,在120 min内将500 mg/L(COD值为1105 mg/L)的聚乙烯醇溶液降解达到66.7%。
- 向青云白洋杨穆王捷严楷姚文清曹江利
- 关键词：锌铁氧体氢化光催化降解聚乙烯醇
- 一种模拟航天航空环境电子器件失效的装置及方法
- 本发明公开了航天航空电子元器件的制备技术领域的一种模拟航天航空环境电子器件失效的装置及方法。该装置的真空腔室具有样品台法兰接口、气氛法兰接口及紫外法兰接口三个法兰接口，并设有真空预抽通道；样品台位于真空腔室内，与外部的加...
- 姚文清严楷朱永法
- 文献传递
- 电子元器件早期失效的判断研究
- 电子元器件是构成航天飞行器、实现地面遥控不可缺少的组成部分，其可靠性是保证飞行器安全升空、长期运行的前提。然而长期在宇宙环境中工作的元器件，不可避免地会受到空间原子氧、热循环和紫外辐照等低地球轨道空间环境因素的作用，可能...
- 姚文清严楷曹江利
- 关键词：超高真空俄歇电子能谱原子力显微镜
- 直流电耦合紫外辐照作用下Au/Cu薄膜的电迁移
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- 真空环境中多场耦合对Au/Cu/Si薄膜界面结构的影响被引量：2
- 2013年
- 采用磁控溅射方法在Si基底上制备了Au/Cu薄膜。利用扫描俄歇微探针(SAM)纳米化分析技术进行表面成分分析与深度剖析,研究在真空环境中,紫外辐照、微氧氧含量及处理温度等因素作用对Au/Cu薄膜界面结构的影响。实验结果表明:环境温度的升高,使薄膜内缺陷增加,为Cu原子的扩散提供了更多的扩散通道;紫外辐照产生了等同的热效应,加剧了Cu原子在Au层中的扩散;微氧的存在诱导了Cu原子的扩散。三种因素协同作用下,诱导迁移扩散机制在室温下形成,并于处理温度达到100℃后趋于稳定。
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- 关键词：紫外辐照微氧
- 氮气气氛下热处理温度对HfO_2薄膜基底界面结构的影响
- 2017年
- 通过电子束蒸发镀膜方法在SiO_2(native)/n-Si(100)基底上沉积HfO_2薄膜,采用俄歇电子能谱、原子力显微镜、掠入射X射线衍射以及X射线光电子能谱研究氮气气氛下热处理温度对HfO_2薄膜基底界面结构的影响。结果表明氮气气氛下热处理能够引起HfO_2薄膜基底界面层的宽化,并且随着热处理温度的提高,基底界面层内氧含量以及界面宽度会不断增加。当处理温度升至900℃时,薄膜基底界面宽度相对于沉积态的增加了约20 nm;并且薄膜表面粗糙度由起初的0.184 nm增加至1.047 nm,此时HfO_2薄膜层内的缺陷密度达到最大。薄膜层缺陷密度的增多能够引起基底界面层内氧含量的增加,进而导致了基底界面层化学结构的改变。
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- 关键词：HFO2薄膜扩散
- Au/Ni/Cu多层薄膜热带海洋气候腐蚀失效机制研究被引量：3
- 2014年
- 目的了解Au/Ni/Cu多层金属薄膜在热带海洋气候下的失效机制,为研究电子元器件表面腐蚀失效的早期预警提供参考。方法采用磁控溅射法在p型单晶Si(100)基片上沉积Au/Ni/Cu薄膜,在热带海洋气候环境下进行时效实验,采用原子力显微镜及俄歇电子能谱对薄膜失效表面与界面结构微观变化进行研究。结果时效实验初期,Au/Ni/Cu薄膜表面发生了Au原子聚集,形成了不再连续的岛状结构,岛与岛之间产生了表面微裂纹。随着时效时间的延长,表面形成腐蚀洞,腐蚀洞附近有Ni和Cu扩散至Au层表面。时效时间进一步延长后,腐蚀洞的数量增加,面积增大,此时样品处于腐蚀末期;与此同时,在未产生腐蚀洞的区域,Au/Ni/Cu薄膜界面未出现明显粗化。结论 Au/Ni/Cu薄膜在热带海洋气候中的失效主要是通过表面产生的腐蚀洞进行的。
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- 关键词：金属薄膜
- 电子元器件早期失效的判断研究
- 电子元器件是构成航天飞行器、实现地面遥控不可缺少的组成部分,其可靠性是保证飞行器安全升空、长期运行的前提。然而长期在宇宙环境中工作的元器件,不可避免地会受到空间原子氧、热循环和紫外辐照等低地球轨道空间环境因素的作用,可能...
- 姚文清严楷曹江利
- 关键词：超高真空俄歇电子能谱原子力显微镜
- 文献传递
- 一种模拟深空环境中电子器件实验的装置
- 本实用新型涉及了一种用于深空环境中电子元器件实验的模拟装置，尤其涉及超高真空度的深空空间环境，包括真空控制系统、温度控制系统、直流电场控制系统、紫外线辐照控制系统以及气氛控制系统，本实用新型针对深空环境实现超高真空，真空...
- 曹江利李云双姚文清严楷
- 文献传递
- 模拟空间环境下电接触薄膜失效行为及机理研究
- 纳米或微米量级的电接触材料及器件因能够作为电互连线或接触电极而常用于诸如微电子、保护涂层和微电子机械系统等应用中。这些电接触薄膜材料主要是由金、银、铜、镍的金属膜层构成,因而具有良好的导电性能和化学惰性。双层Au-Cu电...
- 严楷
- 文献传递
