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金刚石基底上制备(002)AlN薄膜的研究被引量：2: 2012年; 首先采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法,在O2/H2/CH4混合气体气氛下利用大功率微波在(100)Si片上生长出了异质外延金刚石膜,X-射线衍射(XRD)、拉曼光谱和场发射扫描电子显微镜(FESEM)对薄膜的表征分析结果表明,制备的金刚石膜具有很高的金刚石相纯度,且晶粒排列紧密;继而采用射频磁控反应溅射法,在抛光的金刚石基底上成功制备了高C轴择优取向的氮化铝(AlN)薄膜,研究了不同的溅射气压、靶基距对AlN薄膜制备的影响,XRD检测结果表明,溅射气压低,靶基距短,有利于AlN(002)面择优取向,相反则更有利于AlN薄膜的(103)面和(102)面择优取向;研究了AlN薄膜在以N终止的金刚石基底和纯净金刚石基底两种表面状态上的生长机制,结果发现,以N终止的金刚石基底非常有利于AlN(002)面择优取向生长;从Al-N化学键的形成以及溅射粒子平均自由程的角度,探讨了其对AlN薄膜择优取向的影响。; 古少杰杨保和张明伟崔健李翠平; 关键词：金刚石化学键平均自由程

承包人创收视角下不平衡报价策略研究: 随着《建设工程工程量清单计价规范》(GB50500-2008)的逐步推行与应用,进一步加剧了建筑市场竞争的激烈程度,使得承包人在投标时,不得不竞相压低报价以确保中标。这种情况直接导致了承包人中标项目的利润水平低下,甚至可...; 崔健; 关键词：风险分析建筑市场

高频SAW滤波器的ZnO/金刚石多层膜制备及器件设计研究: 声表面波(SAW)器件具有小型化、高可靠、多功能、一致性好等特点，所以它在雷达、电子战、声纳、无线通信、光纤通信及广播电视系统中正在获得广泛的应用。声表面波滤波器工作频率f由声表面波传播速度V和叉指周期长度L...; 崔健; 关键词：声表面波滤波器金刚石氧化锌多层膜; 文献传递

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崔健