惠森兴
- 作品数:33 被引量:19H指数:3
- 供职机构:中国科学院上海硅酸盐研究所更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金上海市科学技术发展基金更多>>
- 相关领域:电子电信一般工业技术自动化与计算机技术理学更多>>
- 扫描电子声显微镜在半导体材料分析中的应用
- 1996年
- 本文利用国际上近几年发展起来的一种新型显微成像工具──扫描电子声显微镜(SEAM-ScanningElectronAcousticMicroscope)对几种类型的半导体材料进行了电子声成像观察与研究.文中简述了扫描电子声显微镜的电子声成像机理和其工作原理.从获得的电子声图像上,反映出扫描电子声显微成像技术在对半导体材料的亚表面缺陷和掺杂分布方面有着直接观察与显示的能力.同时与相应位置所获得的二次电子像进行了比较,显示出了电子声显微成像技术的独特之处和潜在的应用价值.
- 张冰阳江福明惠森兴杨阳姚烈殷庆瑞
- 关键词:半导体材料显微镜
- 一种电场和温场可变的电声信号探测器
- 本实用新型涉及一种电场和温场可变的电声信号探测器,属于功能材料和器件领域,本实用新型提供的电声信号探测器是由电声信号传感器及前置放大器,可变电场控制装置以及小型温场可变的加热炉及温度控制装置构成。本探测器具有结构紧凑特点...
- 殷庆瑞惠森兴
- 文献传递
- 扫描电声显微镜中干扰信号及假信号的预防
- 1997年
- 本文对扫描电声显微镜电声成像中出现的干扰信号以及假信号的产生进行了讨论.指出扫描电声显微镜设备周围存在的高强度电场、磁场、高频设备和仪器本身的接地是造成干扰信号出现的主要原因,同时给出了一种能有效防止以上干扰的样品一探测器组件结构.而在电声像中假信号产生的原因则主要是由于样品和探测器接地不当所引起.在进行电声成像观察和记录时最好关掉电镜的对比度旋钮.
- 张冰阳江福明杨阳惠森兴姚烈殷庆瑞
- 关键词:干扰信号扫描电声显微镜电子显微镜
- 基于微纳米尺度热检测的非线性放大器
- 本发明涉及一种基于微纳米尺度热检测的非线性放大器,用于原子力显微镜热学成像系统,包括热传感回路、前端信号处理器和非线性检测器,热传感回路接收被测信号,输出所述被测信号的3倍频参考信号和基波信号的电压信号;前端信号处理器对...
- 曾华荣殷庆瑞惠森兴赵坤宇李国荣
- 实时温场控制的电声信号检测
- 2001年
- 电声检测作为试样亚表面观察与成像的新技术,已成功地应用于无机材料、金属材料、半导体材料等领域,为研制与推广应用新材料、新器件提供了科学的依据,但这些检测都反映了试样的静态特性.如何检测试样在不同物理条件下的动态特性,尤其是在不同温度情况下的内部结构与性能的变化,更透彻地把握试样内在的规律,是当前的一项重要而艰巨的课题.本文应用带有温场控制的电声信号传感嚣对单晶材料进行实时温场控制的电声成像进行了研究,对电声信号检测工作具有参考价值.
- 惠森兴曾华荣殷庆瑞
- 关键词:电声信号检测
- 一种基于原子力显微镜的纳米热电塞贝克系数原位定量表征装置
- 本申请公开了一种基于原子力显微镜的纳米热电塞贝克系数原位定量表征装置,用于检测一被测纳米热电材料样品的微区塞贝克系数,包括:一谐波信号的原子力显微镜原位激励平台,用于提供发展纳米热电塞贝克系数原位表征装置的原子力显微镜平...
- 曾华荣陈立东赵坤宇惠森兴殷庆瑞李国荣
- 文献传递
- 一种扫描探针声学显微成像用低频、收发两用型传感器
- 本发明涉及一种扫描探针声学显微成像用低频、高灵敏度、收发两用型传感器。所述的传感器是由高灵敏的机电能量敏感元件、相关机械结构组成。所述的传感器工作频率范围:2-30kHz,比通常的声学成像模式工作频率(几百kHz-几十M...
- 殷庆瑞余寒峰惠森兴赵坤宇
- 文献传递
- 基于微纳米尺度热检测的非线性放大器
- 本发明涉及一种基于微纳米尺度热检测的非线性放大器,用于原子力显微镜热学成像系统,包括热传感回路、前端信号处理器和非线性检测器,热传感回路接收被测信号,输出所述被测信号的3倍频参考信号和基波信号的电压信号;前端信号处理器对...
- 曾华荣殷庆瑞惠森兴赵坤宇李国荣
- 文献传递
- 一种基于原子力显微镜的纳米热电塞贝克系数原位定量表征装置
- 本申请公开了一种基于原子力显微镜的纳米热电塞贝克系数原位定量表征装置,用于检测一被测纳米热电材料样品的微区塞贝克系数,包括:一谐波信号的原子力显微镜原位激励平台,用于提供发展纳米热电塞贝克系数原位表征装置的原子力显微镜平...
- 曾华荣陈立东赵坤宇惠森兴殷庆瑞李国荣
- 文献传递
- 利用SEAM技术对电畴结构的直接观察被引量:5
- 1997年
- 利用国际上近几年发展起来的扫描电子声显微镜技术,对BaTiO3铁电陶瓷材料及其单晶进行电子声成像实验。结果表明:利用扫描电子声显微镜技术在不对样品表面进行任何处理的情况下,可以直接对电畴结构进行观察。实验结果显示出扫描电子声显微成像技术在对铁电材料的电畴结构微观分析中的优越性,为在微观领域分析研究铁电材料的电畴结构提供了一种新的观察与分析手段。
- 张冰阳江福明杨阳惠森兴姚烈殷庆瑞
- 关键词:扫描电子显微镜钛酸钡陶瓷电畴陶瓷结构