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戴鑫

作品数：1 被引量：10H指数：1
供职机构：太原理工大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇定向凝固
  • 1篇定向凝固工艺
  • 1篇多晶
  • 1篇多晶硅
  • 1篇数值模拟
  • 1篇凝固
  • 1篇值模拟

机构

  • 1篇太原理工大学
  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇戴鑫
  • 1篇杜海文
  • 1篇张军彦
  • 1篇王锋

传媒

  • 1篇电子工艺技术

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
多晶硅定向凝固工艺中石墨加热器的影响被引量：10
2012年
石墨加热器作为多晶硅铸锭工艺中的热源,它的尺寸和位置直接影响了多晶硅晶体生长过程中的温度分布和固液界面。通过对顶加热器、侧加热器以及顶-侧加热器三种不同的加热器的热场模拟研究,计算结果表明:目前采用的顶-侧加热器在多晶硅熔融和晶体生长过程中能够获得较好的效率和固液界面。
戴鑫杜海文张军彦王锋
关键词：定向凝固数值模拟
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共1页<1>
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