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李玉玲

作品数：5 被引量：7H指数：2
供职机构：中国电子科技集团公司第四十九研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇中文期刊文章

领域

  • 3篇自动化与计算...
  • 1篇化学工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇加速度
  • 2篇感器
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇低应力
  • 1篇电阻
  • 1篇应力
  • 1篇应力测试
  • 1篇正交
  • 1篇正交试验
  • 1篇湿法腐蚀
  • 1篇速度传感器
  • 1篇特性分析
  • 1篇微机电系统
  • 1篇温度系数
  • 1篇力测试
  • 1篇流量传感器
  • 1篇毛细作用
  • 1篇膜结构
  • 1篇结构参数

机构

  • 4篇中国电子科技...
  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 5篇李玉玲
  • 4篇齐虹
  • 3篇王晓光
  • 2篇张岩
  • 1篇刘智辉
  • 1篇尹延昭
  • 1篇田雷
  • 1篇寇文兵
  • 1篇丁文波
  • 1篇王明伟
  • 1篇李海博

传媒

  • 2篇传感器与微系...
  • 1篇仪表技术与传...
  • 1篇信息技术
  • 1篇中国新技术新...

年份

  • 2篇2016
  • 1篇2015
  • 1篇2012
  • 1篇2010
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
集成加速度传感器敏感芯片性能影响因素及其仿真分析被引量：1
2016年
从集成加速度传感器敏感芯片结构参数的设计入手,分析了支撑梁厚度、电容初始间隙、质量块等敏感芯片结构参数对传感器灵敏度、非线性等性能的影响。同时利用结构分析软件ANSYS进行仿真分析,并对优化后的敏感芯片结构参数进行验证,结果表明:该结构的敏感芯片使加速度传感器灵敏度能够达到10 m V/gn以上,非线性优于2%。
齐虹王明伟丁文波李玉玲王晓光
关键词：结构参数
流量传感器中敏感薄膜电阻制备及其特性分析被引量：1
2016年
通过对热膜式流量传感器中敏感薄膜电阻制备技术的研究,分别介绍了流量传感器中敏感薄膜电阻设计的基本原理、敏感薄膜生长方法及一些具体应用实例。分析了影响薄膜黏附性和内应力的工艺因素,提高了敏感薄膜电阻的温度系数,制作出了具有良好稳定性和一致性的敏感薄膜电阻,满足流量传感器的使用要求。使流量传感器重复性可达±1%,该制备方法适用于热膜式流量传感器的小批量生产。
齐虹李玉玲王晓光张岩寇文兵
关键词：流量传感器温度系数
微薄膜结构的湿法腐蚀技术研究
2012年
通过对流量传感器制造工艺中微薄膜结构的研究,分别介绍了采用氢氧化钾和四甲基氢氧化铵(TMAH)交替腐蚀实现感应薄膜释放的基本原理、工艺方法、工艺参数,及在制作流量芯片中的具体应用实例,实现了微米级厚度薄膜释放,为流量传感器和其它需要超薄薄膜微结构的制作奠定了基础。
李玉玲齐虹张岩
关键词：湿法腐蚀TMAHKOH
低应力Si_3N_4介质膜的制备工艺优化被引量：2
2010年
低应力Si3N4介质膜对于制作微结构传感器是非常重要的。本文通过采用正交试验设计,优化出Si3N4介质膜制备的低应力工艺参数,并给出了Si3N4薄膜应力的测试方法和测试结果。
李海博齐虹王晓光李玉玲
关键词：正交试验应力测试
三层硅加速度敏感芯片BCB键合工艺研究被引量：3
2015年
采用非光敏苯并环丁烯(BCB)进行MEMS压阻式加速度敏感芯片三层结构制作。BCB键合具有工艺温度低、键合表面要求低等特点,适用于芯片的圆片级封装。但是固化过程中BCB粘度随温度升高而下降,流动性变大,在毛细作用的影响下沿着微小间隙流淌,导致可动部件粘连,器件失效。通过控制BCB厚度、增加BCB阻挡槽解决了可动部件粘连问题,制作了三层硅结构的加速度敏感芯片。样品漏率小于1.0×10-10Pa·m3/s,键合剪切强度大于20MPa,能够满足航天、工业、消费电子等各领域的应用需求。
刘智辉田雷李玉玲尹延昭
关键词：微机电系统加速度计苯并环丁烯键合毛细作用
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