王宇
- 作品数：136 被引量：28H指数：4
- 供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术理学更多>>
- 自由空间光与光子芯片端面耦合方法
- 本公开提供一种自由空间光与光子芯片端面耦合方法，包括：将至少一个端面耦合器设置于超透镜的焦距处；通过所述超透镜将自由空间光汇聚到所述端面耦合器的收光口；通过所述端面耦合器将与其收光角度、方向和波导模场匹配的光耦合进端面耦...
- 韩春蕊刘思远王宇罗艳陈卓曲壮壮周维虎亓岩范元媛路建明
- 文献传递
- 检测装置、检测准分子激光器放电腔部件钝化程度的方法
- 本发明实施例提供一种检测装置、检测准分子激光器的放电腔部件钝化程度的方法，涉及光电技术领域，可判断放电腔部件内的钝化层是否钝化完成。一种检测装置，用于检测准分子激光器的放电腔部件的钝化程度，包括准分子激光器、测试腔、试样...
- 郭馨江锐王倩周翊赵江山王宇
- 一种用于实时校正两路光功率差的自校准光分束器
- 本申请提供一种用于实时校正两路光功率差的自校准光分束器，包括：两个可调光纤分束器、两个光功率探测器和一个光功率比较控制模块，第一光功率探测器探测输出第一可调光纤分束器的第一光束的光功率；第二光功率探测器探测输出第二可调光...
- 亓岩孙晨曦颜博霞韩哲周密王延伟范元媛王宇
- 高重复频率准分子激光器中放电冲击波特性的实验研究被引量：3
- 2019年
- 采用阴影法对高重复频率准分子激光器放电腔内的放电冲击波现象进行了实验研究,研究结果揭示了放电冲击波的产生以及演化过程。通过对观测结果进行分析,获得了放电冲击波的3种典型形式:横向冲击波、纵向冲击波(主电极冲击波)和预电离冲击波。估算了3种冲击波的波速,进而分析了可会受冲击波影响的重复频率。研究成果可以为高重复频率准分子放电腔的设计提供支持,尤其是可以在放电冲击波抑制结构的设计方面提供支持。
- 刘斌丁金滨王魁波周翊江锐王宇
- 关键词：激光光学准分子激光器高重复频率
- 干涉成像系统
- 本申请公开了一种干涉成像系统，包括依次连接的光场离散部件、离散光场干涉部件以及图像重构部件。该光场离散部件包括至少一个线性微镜阵列，该线性微镜阵列包括多个微镜，多个微镜按照预设干涉基线设计方案两两配对构成微镜对，每个微镜...
- 韩春蕊齐月静王宇叶征宇
- 文献传递
- 一种大尺寸高精度芯片的制备方法及设备
- 本公开提供一种大尺寸高精度芯片的制备方法，包括：确定最大单次曝光面积，根据曝光图形整体尺寸和最大单次曝光面积将曝光图形划分为多个曝光子图形，并设计参考标记；在衬底上制作每个曝光子图形的参考标记，每一个曝光子图形对应一个曝...
- 刘思远韩春蕊王宇亓岩曲壮壮路建明白路军
- 空间光束偏移校正装置及方法
- 本公开涉及一种空间光束偏移校正装置和方法，包括：沿光束传播方向依次设置的双光楔安装筒和双斜平板安装筒，双光楔安装筒和双斜平板安装筒的中心轴线与理想光轴重合；第一光楔和第二光楔，分别安装于双光楔安装筒内并可绕理想光轴旋转，...
- 崔成君王国名董登峰张滋黎周维虎王宇潘映伶孟繁昌冯天赐
- 一种穿板密封装置
- 本发明提供了一种穿板密封装置，应用于微环境控制系统，包括：密封板；偏心圆板设置在所述密封板的通孔内侧，偏心圆板上表面具有一偏心圆通孔，侧面具有凹槽；转接法兰设置在密封板通孔与偏心圆板之间，将所述偏心圆板与所述密封板进行连...
- 齐威孟璐璐王宇齐月静李璟杨光华宗明成卢增雄陈进新张清洋苏佳妮
- 一种波导器件
- 本公开提供一种波导器件，包括：衬底；位于所述衬底上的波导层；至少部分覆盖所述波导层的包覆层；其中，所述波导层中至少有一段波导为以下波导中的一种：基于Hermite曲线的弯曲波导、基于B样条曲线的弯曲波导和基于Hermit...
- 白谋颜博霞亓岩王延伟韩哲周密范元媛王宇
- 增强型相位光栅衍射效率研究被引量：8
- 2021年
- 为了提高相位光栅位置测量系统的测量精度,需要降低零级和偶衍射级次信号的衍射效率,同时提高高奇衍射级次信号的衍射效率。目前,已知的增强型相位光栅衍射效率模型限制了结构参数取值范围,在设计时以某一高奇衍射级次信号作为优化目标。为设计针对多个高奇衍射级次信号的衍射增强、零级和偶衍射级次缺级的相位光栅结构,对增强型相位光栅衍射效率进行了深入研究。该研究基于标量衍射理论,建立相位光栅结构与衍射效率理论模型;分析光栅结构参数如槽深、栅脊宽度、栅脊位置对衍射效率的影响;根据相位光栅位置测量系统的约束条件,获得多奇衍射级次增强型光栅结构。这种结构不仅使零级和偶衍射级次缺级,而且同时提高了第5、7、9衍射级次的衍射效率。本研究有利于深入理解增强型相位光栅衍射原理,为光栅设计提供支撑。
- 杨光华王宇李璟齐月静丁敏侠
- 关键词：衍射相位光栅衍射效率
