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郭晓旭

作品数：6 被引量：45H指数：3
供职机构：中国科学技术大学物理学院物理系更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信理学电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 5篇电子电信
  • 2篇理学
  • 1篇电气工程

主题

  • 4篇微晶硅
  • 4篇硅薄膜
  • 3篇微晶硅薄膜
  • 2篇散射
  • 2篇氢化
  • 2篇热丝
  • 2篇热丝法
  • 2篇微结构
  • 2篇小角X射线散...
  • 2篇薄膜微结构
  • 2篇X射线
  • 2篇X射线散射
  • 1篇单晶
  • 1篇单晶硅
  • 1篇电池
  • 1篇太阳能
  • 1篇太阳能电池
  • 1篇稳定性
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米晶

机构

  • 5篇中国科学院
  • 5篇中国科学技术...

作者

  • 6篇郭晓旭
  • 4篇董宝中
  • 3篇朱美芳
  • 2篇许怀哲
  • 2篇陈国
  • 1篇生文君
  • 1篇韩和相
  • 1篇刘金龙
  • 1篇孙景兰

传媒

  • 2篇物理学报
  • 1篇太阳能学报
  • 1篇北京同步辐射...
  • 1篇同步辐射装置...
  • 1篇第六届全国固...

年份

  • 3篇1998
  • 3篇1997
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
微晶硅薄膜小角X射线散射研究被引量：1
1997年
用小角X射线散射（SAXS），Raman谱，红外透射谱等研究高氢稀硅烷热丝法（HWCVD）制备氢化微晶硅膜微结构，结果表明微晶硅的大小及在薄膜中的晶态比随氢稀释度的提高而增加。SAXS表明薄膜致密度随氢衡释度的增加而增加。结合红外谱和SAXS的结果讨论了不同相结合下硅网络中H的键合状态。认为在非晶硅膜中H以SiH键为主，在微晶硅膜中H以SiH2为主且主要存在于晶粒的界面。
郭晓旭董宝中等
关键词：微晶硅薄膜小角X射线散射半导体
高氢稀释制备微晶硅薄膜微结构的研究
1998年
采用高氢稀硅烷热丝化学气相沉积方法制备氢化微晶硅薄膜。其结构特征用Raman谱，红外透射谱，小角X射线散射等来表征。结果表明微晶硅的大小及在薄膜中的晶态比Xc随氢稀释度的提高而增加。而从红外谱计算得到氢含量则随氢稀释度的增加而减小。小角X射线散射结果表明薄膜致密度随氢稀释度的增加而增加。结合红外谱和小角X射线散射的结果讨论与比较了不同相结构下硅网络中H的增加而增加。结合红外谱和小角X射线散射的结果讨论与比较了不同相结构下硅网络中H的键合状态。认为随着晶化的发生和晶化程度的提高H逐渐移向晶粒表面，在硅薄膜中H的存在形式从以SiH为主向SiH2转变，即在微晶硅膜中主要以SiH2形式存在于晶粒的界面。
郭晓旭董宝中等
关键词：氢化微晶硅薄膜微结构
高氢稀释制备微晶硅薄膜微结构的研究被引量：23
1998年
采用高氢稀硅烷热丝化学气相沉积方法制备氢化微晶硅薄膜．其结构特征用Ｒａｍａｎ谱，红外透射谱，小角Ｘ射线散射等来表征．结果表明微晶硅的大小及在薄膜中的晶态比χｃ随氢稀释度的提高而增加．而从红外谱计算得到氢含量则随氢稀释度的增加而减少．小角Ｘ射线散射结果表明薄膜致密度随氢稀释度的增加而增加．结合红外谱和小角Ｘ射线散射的结果讨论与比较了不同相结构下硅网络中Ｈ的键合状态．认为随着晶化的发生和晶化程度的提高Ｈ逐渐移向晶粒表面，在硅薄膜中Ｈ的存在形式从以ＳｉＨ为主向ＳｉＨ２转变，即在微晶硅膜中主要以ＳｉＨ２形式存在于晶粒的界面．
郭晓旭朱美芳刘金龙韩一琴刘金龙董宝中生文君许怀哲
关键词：氢化微晶硅微结构
微晶硅薄膜小角X射线散射研究
角X射线散射（SAXS），Raman谱，红外透射谱等研究高氢稀释硅烷热丝法（HWCVD）制备氢化微晶硅膜微结构。结果表明微晶硅的大小及在薄膜中的晶态比随氢稀释度的提高而增加。SAXS表明薄膜致密度随氢稀释度的增加而增加。...
郭晓旭董宝中
关键词：微晶硅薄膜X射线散射
热丝法制备纳米晶硅薄膜结构及沉积机制的研究被引量：11
1997年
用热丝法制备了纳米晶硅薄膜．通过Ｒａｍａｎ散射谱及Ｘ射线谱，系统地研究了沉积气压Ｐｇ、高Ｈ２稀释及衬底与钨丝之间距离对沉积速率、纳米硅薄膜的形成和结构等的影响．计算了沉积过程中的温度场分布．讨论了沉积过程中反应基元的输运和相关的气相反应，以及Ｈ在薄膜生长中的作用，由此分析了沉积参量对薄膜结构的影响，得到了与实验相一致的结果．
陈国郭晓旭朱美芳朱美芳许怀哲韩一琴
关键词：热丝法纳米晶硅
用热丝法制备优质稳定非晶硅薄膜的研究被引量：12
1997年
系统地研究了低压热丝化学汽相沉积技术中沉积气压、衬底温度、钨丝温度等参量对氢化非晶硅膜结构、光电特性及稳定性的影响。结果表明，沉积气压是影响非晶硅膜的最主要参数，在优化沉积参数的条件下制备非晶硅。
陈国朱美芳孙景兰郭晓旭苏夷希
关键词：热丝法稳定性太阳能电池非晶硅薄膜
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