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冯书谊
作品数:
4
被引量:4
H指数:2
供职机构:
上海交通大学
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发文基金:
上海市科学技术委员会资助项目
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电气工程
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合作作者
周勇
上海交通大学微纳米科学技术研究...
周志敏
上海交通大学微纳米科学技术研究...
雷冲
上海交通大学
向毅
上海交通大学微纳米科学技术研究...
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周勇
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向毅
传媒
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电子元件与材...
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1篇
2012
3篇
2009
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平面磁芯螺旋结构微电感器件的制备方法
一种微电子技术领域的平面磁芯螺旋结构微电感器件及其制备方法。微电感器件包括衬底、磁芯材料、绝缘材料、平面螺旋结构线圈、引脚、引线,平面螺旋结构线圈由两层磁芯材料包裹,并由聚酰亚胺分开,中心引脚与外部引脚相连。工艺如下:溅...
周勇
冯书谊
周志敏
雷冲
文献传递
平面磁芯螺旋结构微电感器件及其制备方法
一种微电子技术领域的平面磁芯螺旋结构微电感器件及其制备方法。微电感器件包括衬底、磁芯材料、绝缘材料、平面螺旋结构线圈、引脚、引线,平面螺旋结构线圈由两层磁芯材料包裹,并由聚酰亚胺分开,中心引脚与外部引脚相连。工艺如下:溅...
周勇
冯书谊
周志敏
雷冲
文献传递
平面磁芯螺旋结构微电感的性能研究
被引量:2
2009年
采用MEMS技术(包括光刻、电镀、反应离子刻蚀和机械抛光等)研制了平面磁芯螺旋结构微电感,磁芯材料为铁基纳米晶带材。其中线圈匝数为18匝,线圈导体的宽度和间隙均为30μm,厚度为20μm;电感的尺寸为3mm×3mm。测试结果表明:在频率为1-10MHz时,电感量和品质因数分别为3.2~1.2μH和2.3—1.1;在1MHz下,电感量和品质因数分别为3.2μH和2.3,可应用于微型化DC/DC变换器。
冯书谊
周勇
周志敏
向毅
关键词:
MEMS技术
电感量
品质因数
MEMS平面磁芯螺旋微电感的制造技术研究
便携式产品的小型化促使其中的电源管理芯片如DC/DC变换器向着微型化方向发展,同时为了提高电路性能如降低电感电流纹波、提高最大负载电流,提高整个系统转换效率等等使得在不降低芯片效率的同时需要提高开关频率、所以需要选用性能...
冯书谊
关键词:
电感量
品质因子
微机电系统
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