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刘滨

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：兰州大学物理科学与技术学院更多>>
发文基金：国家基础科学人才培养基金更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇热丝
  • 1篇热丝化学气相...
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇硅薄膜
  • 1篇HWCVD
  • 1篇玻璃衬底
  • 1篇衬底
  • 1篇衬底温度

机构

  • 1篇兰州大学

作者

  • 1篇郭小松
  • 1篇傅杰财
  • 1篇刘滨
  • 1篇谢二庆
  • 1篇张俊丽

传媒

  • 1篇材料导报（纳...

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
HWCVD在玻璃衬底上沉积硅薄膜的研究被引量：1
2010年
采用热丝化学气相沉积法在玻璃衬底上沉积硅薄膜,采用扫描电子显微镜、拉曼光谱分析表征样品的形貌和结晶性,较为系统地研究了硅烷浓度、衬底到热丝的距离对硅薄膜生长过程及各种性质的影响,结果表明,较高的衬底温度及较低的硅烷浓度有利于薄膜的结晶。
张俊丽傅杰财郭小松刘滨谢二庆
关键词：热丝化学气相沉积硅薄膜衬底温度
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