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张超前
作品数:
10
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供职机构:
中国科学院微电子研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
赵玲利
中国科学院微电子研究所
王守国
中国科学院微电子研究所
杨景华
中国科学院微电子研究所
张学一
中国科学院微电子研究所
陈鲁
中国科学院微电子研究所
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10篇
中文专利
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电子电信
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等离子体
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等离子体技术
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光栅
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放电
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放电设备
机构
10篇
中国科学院微...
作者
10篇
张超前
8篇
杨景华
8篇
王守国
8篇
赵玲利
2篇
夏洋
2篇
陈鲁
2篇
张学一
年份
1篇
2015
1篇
2013
1篇
2012
1篇
2011
6篇
2010
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放电设备
本实用新型提供了一种放电设备,属于等离子体技术领域。所述放电设备包括:电极阵列,设置成圆弧状,并连接至高频脉冲电源;圆滚轴,由金属制成,并设置成与圆弧状的电极阵列同圆心,用于在接通高频脉冲电源时,在其与电极阵列之间进行放...
杨景华
张超前
赵玲利
王守国
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常压等离子体票据消毒机
本实用新型提供一种新型的常压等离子体票据消毒设备,包括一个壳体、等离子体放电辊、传动机构、电源,其特征在于:该消毒设备包括一个壳体,在该壳体的两侧分别设有一进纸口和一出纸口,该壳体内设有一传动机构,该传动机构包括一个电机...
王守国
赵玲利
杨景华
张超前
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大面积平板常压射频冷等离子体系统
本实用新型公开了一种大面积平板常压射频冷等离子体系统,包括一外壳、射频电源、供气源、等离子体发生器、温度控制系统和支架;在一个外壳内,有两个表面彼此平行且相互绝缘的电极,一个与射频电源连接叫射频电极,另一个与地连接叫地电...
王守国
张超前
赵玲利
杨景华
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高效射频电容耦合真空等离子体灭菌器
本发明提供一种新型的高效射频电容耦合真空等离子体灭菌器,包括一个壳体、真空室、射频电源、进气和抽气系统,自动控制系统,其特征在于:在该灭菌器中包含一个真空室以及与其连接的射频电源、进气和抽气系统,在该真空室的中间位置设有...
王守国
赵玲利
杨景华
张超前
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等离子体放电与雾化接枝装置
本实用新型公开了一种等离子体放电与雾化接枝装置,该装置包括:一组雾化喷头,该组雾化喷头安装在一个与支架连接的屏蔽罩上;和两个高压电极,位于雾化喷头的两侧,该两个高压电极与电源的一端连接,外侧安装一个与大地连接的屏蔽罩,内...
赵玲利
杨景华
张超前
王守国
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等离子体放电与雾化接枝装置
本发明公开了一种等离子体放电与雾化接枝装置,该装置包括一组雾化喷头和位于雾化喷头两侧的两个高压电极,该组雾化喷头安装在一个与支架连接的屏蔽罩上,用于雾化喷出各种液体;该两个高压电极与电源的一端连接,外侧安装一个与大地连接...
赵玲利
杨景华
张超前
王守国
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LED光学特性检测方法及检测装置
本发明提供一种LED光学特性检测方法及检测装置,方法包括:提供激光光源;提供光栅,将光栅放置在激光光源的光路上;在光栅背后放置LED,使LED有源层与光栅的距离满足泰伯距离,在LED有源层上形成光栅自成像,光栅自成像包括...
陈鲁
夏洋
张超前
张学一
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LED光学特性检测方法及检测装置
本发明提供一种LED光学特性检测方法及检测装置,方法包括:提供激光光源;提供光栅,将光栅放置在激光光源的光路上;在光栅背后放置LED,使LED有源层与光栅的距离满足泰伯距离,在LED有源层上形成光栅自成像,光栅自成像包括...
陈鲁
夏洋
张超前
张学一
密闭内循环臭氧消毒柜
一种密闭内循环臭氧消毒柜,其特征在于:在一个密闭柜体内设有一个上部臭氧发生器腔体和下部消毒腔体,该上下腔体用一个平隔板隔离,其上部的臭氧发生器腔体中安装一个臭氧发生器,其两端设有与下部腔体贯通的缝隙,在该消毒腔体的中部垂...
王守国
赵玲利
杨景华
张超前
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放电设备
本发明提供了一种放电设备,属于等离子体技术领域。所述放电设备包括:电极阵列,设置成圆弧状,并连接至高频脉冲电源;圆滚轴,由金属制成,并设置成与圆弧状的电极阵列同圆心,用于在接通高频脉冲电源时,在其与电极阵列之间进行放电。...
杨景华
张超前
赵玲利
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