范晓冬
- 作品数：27 被引量：1H指数：1
- 供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 阵列式光学探针扫描光刻制作集成电路方法
- 本发明属于微细工程制造领域，涉及阵列式光学探针扫描光刻制作集成电路的方法。该方法由m×n个光探针单元构成光学探针阵列，将光学探针阵列中任意两个纵向或横向间隔最大的光探针单元用作精确定位的光探针单元单独在硅片上扫描，制作记...
- 徐端颐齐国生范晓冬李庆祥钱坤蒋培军
- 文献传递
- 用于集成电路光刻系统中的线阵光源扫描装置
- 本发明属于微细加工技术领域，包括由n个短波长微光源组成的线阵光源和对该光源实现小视场和近场技术的微型成像系统，所说的线阵光源由n个相邻微光源排成直线得到的，每个微光源的开关可进行独立控制。本发明提高了系统光刻分辨率，可实...
- 徐端颐齐国生蒋培军李庆祥钱坤范晓冬
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- 浸没式阵列激光扫描直写光刻被引量：1
- 2008年
- 介绍一种以显微镜结构为基础的浸没式阵列激光扫描直写光刻系统的光路结构、有效焦深、自动调焦及曝光能量控制的原理和方法。实验系统的有效数值孔径(ENA)为1.83,使用的激光波长为355nm时,在实验室条件下得到的最细线条宽度为65nm。
- 徐端颐范晓冬蒋培军齐国生
- 阵列式光学探针扫描集成电路光刻方法
- 本发明属于微细工程制造领域,该方法使用阵列式光学探针扫描光刻制作集成电路,达到的集成电路的最小线宽可小于0.1μm,同时具有速度快,效率高的特点,并大大简化了集成电路的制作工艺,为超大规模集成电路的制作提供了一种新的有效...
- 徐端颐齐国生范晓冬李庆祥钱坤蒋培军
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- 用于集成电路光刻系统中的线阵光源扫描装置
- 本发明属于微细加工技术领域,包括由n个短波长微光源组成的线阵光源和对该光源实现小视场和近场技术的微型成像系统,所说的线阵光源由n个相邻微光源排成直线得到的,每个微光源的开关可进行独立控制。本发明提高了系统光刻分辨率,可实...
- 徐端颐齐国生蒋培军李庆祥钱坤范晓冬
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- 光探针扫描集成电路用光刻系统中振动刻写方法
- 一种光探针扫描集成电路光刻系统中振动刻写方法，属于集成电路光刻技术领域，其特征在于：在根据电路图形或掩膜图形生成待光刻的图形线条的控制数据后，在光探针沿着主运动X方向作扫描运动时，辅以Y方向的小幅振动型的步进幅值。Y方向...
- 徐端颐钱坤齐国生蒋培军范晓冬
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- 阵列式光探针扫描集成电路光刻系统中的对准方法及其装置
- 本发明涉及一种阵列式光探针扫描集成电路光刻系统中的对准方法和装置,首先根据电路图形确定关键点,将电路图形的区别特征进行编码,并刻写在硅片上,设置一对校准图形,使校准图形位于电路图形处,校准图形由校准子图形组成。根据图形关...
- 徐端颐齐国生钱坤李庆祥范晓冬蒋培军
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- 光存储中大数值孔径蓝光超分辨聚焦方法及器件研究
- 范晓冬
- 关键词：光存储蓝光大数值孔径超分辨矢量衍射理论
- 阵列式光探针扫描集成电路光刻系统中的对准装置
- 本发明涉及一种阵列式光探针扫描集成电路光刻系统中的对准方法和装置，首先根据电路图形确定关键点，将电路图形的区别特征进行编码，并刻写在硅片上，设置一对校准图形，使校准图形位于电路图形处，校准图形由校准子图形组成。根据图形关...
- 徐端颐齐国生钱坤李庆祥范晓冬蒋培军
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- 高密度母盘刻录系统
- 李玉和李庆祥齐国生赵大鹏訾艳阳蒋培军李晟范晓冬钱坤王亮郭阳宽
- 高密度母盘刻录是数据存储中的关键技术。对母盘刻录系统的工作原理、结构组成及控制方法进行了分析研究，提出了基于DSP中央处理器和CPLD逻辑单元为中心的下位机式刻录控制方法，完成了模型建立、参数优化、硬件设计与仿真，并进行...
- 关键词：
- 关键词：光存储母盘刻录
