贺会权
- 作品数:6 被引量:33H指数:4
- 供职机构:中航工业北京航空材料研究院更多>>
- 发文基金:国防科技技术预先研究基金更多>>
- 相关领域:一般工业技术理学核科学技术更多>>
- 低温沉积ITO透明导电膜的研究被引量:4
- 2006年
- 通过探讨半导体氧化物ITO膜的透光和导电机理,用反应性直流磁控溅射的镀膜工艺,在有机玻璃上低温镀制(ITO)膜,研究ITO膜溅射工艺参数与透光和导电性能的关系,实现了在低温下镀制(ITO)膜的技术,其透光率≥80%以上,表面电阻≤30Ω/□。
- 沈玫纪建超贺会权
- 关键词:透明导电膜ITO膜磁控溅射
- 中性束注入系统束流分析与测量
- 核聚变研究在解决当今能源短缺问题上具有十分重大的意义,中性束注入加热是核聚变中重要的辅助加热方式之一.该文在介绍了中性束注入系统原理和结构基础上,对束线上束流损失进行了分析,设计了束流吸收靶测量损失的束功率,同时重点设计...
- 贺会权
- 关键词:中性束注入束流损失
- 文献传递
- 中性束注入系统热测靶设计
- 2005年
- 介绍了中性束注入系统热测靶的测量原理 ,提出了热测靶的设计方案 ,并对测量误差进行了分析 ,介绍了中性束注入系统束线上束流功率和功率密度分布的测量方法 。
- 贺会权胡立群胡纯栋龚建华
- 关键词:中性束注入
- 离子束辅助磁控溅射低温沉积ITO透明导电薄膜的研究被引量:4
- 2006年
- 本文对离子束辅助磁控溅射低温沉积的ITO薄膜进行了研究,重点考察了辅助离子束能量对ITO薄膜的光电性能和晶体结构的影响。结果表明:当A r/O2辅助离子束能量为900 eV左右时能够有效改善ITO薄膜的光电性能,在从非晶到多晶的转变过程中ITO薄膜具有较低的电阻率。在聚碳酸酯(PC)基片上制备了平均可见光透过率81.0%、电阻率为5.668×10-4ohm cm、结构致密且附着力良好的ITO薄膜,基片无变形。
- 望咏林颜悦沈玫贺会权纪建超张官理
- 关键词:离子束辅助沉积磁控溅射ITO透明导电薄膜
- 中性束束流沿束线损失分析与沉积被引量:4
- 2003年
- 分析了中性注入系统中束流在束线各部件上的损失,提出了束线上各部件的设计方案,并简单介绍了中性注入系统。
- 贺会权胡立群胡纯栋龚建华
- 关键词:中性束等离子体托卡马克装置磁场
- 透明导电氧化物薄膜研究进展被引量:20
- 2006年
- 综述了透明导电氧化物(TCO)薄膜的应用和发展,重点阐述了TCO薄膜的透明导电机理以及制备工艺的最新研究进展,同时对其研究和应用前景进行了展望。
- 望咏林颜悦沈玫贺会权张官理
- 关键词:氧化物薄膜ITOAZO