高巍巍
- 作品数：2 被引量：4H指数：1
- 供职机构：厦门大学化学化工学院化学系更多>>
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- CO2激光直写结合湿法刻蚀加工玻璃基微流控芯片
- 玻璃是制作微流控芯片的重要材料,其加工工艺主要基于光刻后湿法腐蚀,对设备和实验室要求较高.本文提出以普通指甲油和指甲油/金/铬为牺牲层,利用CO2激光烧蚀开窗口,辅以湿法腐蚀加工玻璃基微流控芯片的方法,并考察了激光加工参...
- 刘晓清郝苇苇高巍巍周勇亮
- 关键词：微流控芯片CO2激光湿法腐蚀激光直写
- 文献传递
- CO_2激光直写结合湿法刻蚀加工玻璃基微流控芯片被引量：4
- 2006年
- 玻璃是制作微流控芯片的重要材料,其加工工艺主要基于光刻后湿法腐蚀,对设备和实验室要求较高.本文提出以普通指甲油和指甲油/金/铬为牺牲层,利用CO2激光烧蚀开窗口,辅以湿法腐蚀加工玻璃基微流控芯片的方法,并考察了激光加工参数,腐蚀液组成,牺牲层等因素对芯片质量的影响.该方法简便易行,不需要光刻的昂贵设备和繁杂步骤.
- 刘晓清郝苇苇高巍巍周勇亮
- 关键词：微流控芯片CO2激光湿法腐蚀
