鲁清
- 作品数：4 被引量：3H指数：1
- 供职机构：南京航空航天大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金江苏省科技支撑计划项目江苏省博士后科研资助计划项目更多>>
- 相关领域：金属学及工艺更多>>
- 单晶硅电火花铣削电极损耗特性研究
- 半导体材料因具有对光、热、电、磁等外界因素变化十分敏感而独特的电学性质，已成为尖端科学技术中应用最为活跃的先进材料之一，在许多场合下需要在单晶硅上加工出多种复杂形状的小槽、型腔，这对传统加工方法而言是十分困难的。电火花铣...
- 鲁清
- 关键词：单晶硅电火花铣削
- 文献传递
- 单晶硅电火花铣削电极表面覆盖效应研究
- 2012年
- 对单晶硅电火花铣削过程中电极表面出现的覆盖层进行了分析,分析结果表明,该覆盖层的主要成分是SiO2。实验证明,SiO2是加工过程中电化学反应的产物。研究了电参数对SiO2覆盖层厚度的影响规律。研究结果表明,可以通过控制SiO2覆盖层的厚度来保护电极和补偿电极损耗,实现低损耗甚至无损耗的单晶硅电火花铣削加工。
- 刘志东鲁清邱明波田宗军黄因慧
- 关键词：单晶硅电火花铣削电极损耗
- 单晶硅电火花铣削电极损耗研究被引量：2
- 2010年
- 提出了一种以电火花加工技术对半导体硅材料进行铣削加工的方法,分别进行了单晶硅和45钢的电火花铣削加工,发现铣削单晶硅的电极体积相对损耗仅为0.41%,而45钢达到9.22%。针对此现象,从蚀除机理、放电间隙以及放电电流的爬坡特性方面对单晶硅放电加工特性进行了研究,并解释了其电极损耗低的原因。最后研究了不同加工规准下,单晶硅电火花铣削加工电极相对损耗的工艺规律。
- 鲁清刘志东邱明波田宗军黄因慧
- 关键词：单晶硅电火花铣削电极损耗放电特性
- 单晶硅电火花铣削维持电压测定及蚀除机理研究被引量：1
- 2011年
- 提出一种以电火花放电加工技术对半导体硅材料进行铣削加工的方法,建立了半导体放电加工电路模型,测量了半导体放电加工放电通道的维持电压,其值为18 V。在此基础上,从放电能量和ANSYS仿真两个方面对单晶硅电火花铣削的蚀除机理进行了研究。通过单位能量蚀除量的计算,并与45钢比较,得出单位能量单晶硅的蚀除量是45钢的4倍,由此提出了单晶硅蚀除是热蚀除和热应力剥落综合作用的结果;通过仿真分别计算出单脉冲放电温度场和热应力场的蚀除量,其热应力剥落是热蚀除的4.6倍,与基于能量计算的分析结果基本吻合。最后实验验证了分析结果的正确性。
- 鲁清刘志东田宗军邱明波黄因慧
- 关键词：单晶硅电火花铣削放电能量
