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龙娟

作品数：3 被引量：2H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇注入机
  • 2篇离子注入
  • 2篇离子注入机
  • 2篇控制系统
  • 1篇电路
  • 1篇巡回检测
  • 1篇氧含量
  • 1篇强流氧离子注...
  • 1篇全自动
  • 1篇装卸
  • 1篇微粒
  • 1篇微粒污染
  • 1篇抗干扰
  • 1篇抗干扰设计
  • 1篇可靠性
  • 1篇机电一体化
  • 1篇集成电路
  • 1篇光学编码器
  • 1篇分析仪
  • 1篇编码器

机构

  • 2篇中国电子科技...
  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 3篇龙娟
  • 2篇罗宏洋
  • 1篇汤辉
  • 1篇孙勇
  • 1篇林伯奇
  • 1篇易臻希

传媒

  • 2篇电子工业专用...
  • 1篇微细加工技术

年份

  • 1篇2009
  • 1篇2004
  • 1篇2003
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
氮窑氧含量巡回检测分析仪的抗干扰设计被引量：1
2003年
简要介绍了在氮窑氧含量巡回检测分析仪的研制过程中,硬件、软件设计时针对系统电源、接地、印制电路板布线、信号滤波等方面采取的抗干扰措施。实践表明,采用了诸多抗干扰措施的系统运行稳定可靠,抗干扰效果尤其显著。
龙娟易臻希林伯奇
关键词：抗干扰设计巡回检测可靠性
强流氧离子注入机装卸片控制系统被引量：1
2009年
介绍了一种用于强流氧离子注入机的装卸片控制系统,控制系统采用多轴运动控制器实现了多个电机的协同运动,解决了晶圆在传送过程中的中心偏差校正和角度校正的问题,并最终实现了晶圆的全自动传送。
罗宏洋汤辉龙娟
关键词：离子注入机微粒污染全自动
光学编码器在离子注入机中的应用
2004年
具有高度自动控制功能的离子注入机能够实现精确的测量晶片在片盒中的位置、控制晶片的装卸及晶片在靶盘上的定位等系列功能。光学编码器作为一种高精度的传感器是实现其机电一体化的关键部件之一。主要介绍了光学编码器的基本原理及其在控制系统中的应用,分析了其引起系统位置偏差及故障的原因。
孙勇罗宏洋龙娟
关键词：光学编码器离子注入机大规模集成电路机电一体化控制系统
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