刘园园
- 作品数：5 被引量：8H指数：2
- 供职机构：重庆大学更多>>
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- 相关领域：一般工业技术金属学及工艺电子电信更多>>
- JGP-560B磁控溅射仪基片台的改进被引量：1
- 2013年
- 针对JGP-560B型磁控溅射仪存在基片台可放置基片的数量及尺寸有限、同批不同样品成分的一致性难以保证等问题,将设备的基片挡板转盘改进成了一次可放置较多数量基片,并能实现连续旋转的新基片台。结果表明:通过优化可编程控制器端口的接线,既保留了JGP-560B磁控溅射仪的原设计功能,又实现了挡板转盘的软件可控连续旋转,且可通过LED灯指示挡板转盘的旋转状态;在挡板转盘上,根据靶离子的有效溅射范围设计的5个基片位,满足了一次最多可放置20片载玻片基片的实验需求。该技术改进有效满足了多基片一次性沉积均一多元薄膜的实验要求,为JGP-560B磁控溅射仪基片台的技术改进提供了改进思路和有效方案。
- 张兴元何国庆刘园园黄佳木
- 关键词：磁控溅射可编程控制器
- 一种氮化铝钛介质层低辐射薄膜及其制备工艺
- 一种氮化铝钛介质层低辐射薄膜及其制备工艺，属于功能薄膜技术领域。本发明采用磁控溅射法制备一种氮化铝钛介质层低辐射薄膜，其膜层结构从衬底基片往上依次为：内层氮化铝钛介质层、银层、外层氮化铝钛介质层。该膜层可见光透过率高，红...
- 黄佳木尹军香承杰吴萌柳红东刘园园
- 文献传递
- 2024-T3铝合金表面磁控溅射沉积氧化铈基涂层的制备及耐腐蚀性能研究
- 金属材料的腐蚀与防护一直是航空航天、汽车等工业领域的研究热点。国内外大量研究集中于采用表面涂层工艺增强铝合金的耐腐蚀性能。其中，铝合金表面沉积铬基涂层是过去80年里在航空航天和汽车工业领域应用最广泛的、耐腐蚀效果最好的、...
- 刘园园
- 关键词：氧化铈铝合金磁控溅射耐腐蚀性能
- 非晶态WO3薄膜的制备及光催化性能研究
- 随着工业的发展，大量的废水废物带来严重的环境污染问题，而传统的治理方法已不能满足人们的需求，在治理过程中如何利用清洁能源、避免产生二次污染成为人们关注的热点。光催化氧化技术能完全矿化目标污染物、无二次污染，从而在废水治理...
- 刘园园
- 关键词：光催化活性表面形貌
- 文献传递
- 磁控溅射制备非晶态WO_3薄膜的光催化性能被引量：3
- 2010年
- 采用射频反应磁控溅射工艺在玻璃基片上沉积了非晶态WO3薄膜。通过光催化降解亚甲基蓝和罗丹明B溶液实验,研究了所制WO3薄膜的光催化活性和使用寿命。X射线衍射(XRD)分析表明:所制备的WO3薄膜为非晶态。光催化实验表明:紫外光照3h后,薄膜对亚甲基蓝和罗丹明B溶液的最大降解率分别为83.26%和72.73%。重复使用3次后,薄膜对亚甲基蓝的降解率保持在75%以上,7次使用后薄膜基本丧失光催化活性。采用去离子水超声处理30min的方法可使已失活薄膜对亚甲基蓝的降解率从20%恢复至81%。
- 黄佳木李璐刘园园赵培董思勤
- 关键词：WO3薄膜光催化非晶态磁控溅射
