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刘恺
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供职机构:
中国电子科技集团
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合作作者
伍三忠
中国电子科技集团
龙会跃
中国电子科技集团
戴习毛
中国电子科技集团
沈丽
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邹春艳
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LC14强流氧离子注入机控制系统的研制
本文阐述了强流氧离子注入机计算机控制系统的软、硬件实现方案:详细分析了主—从机之间进行数据交换的数据包格式和通讯控制逻辑,发送方和接收方避免总线冲突以及检验传输过程中数据的正确性的方法,以及抗干扰设计.
伍三忠
沈丽
刘恺
邹春艳
关键词:
离子注入机
数据包
控制系统
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长寿命间热式阴极离子源
本文介绍一种最新开发应用于100nm大角度离子注入机的长寿命离子源,该离子源最主要特征是采用间热式阴极代替传统的热灯丝阴极发射电子.同时根据工业化离子注入机实用性要求系统介绍离子源使用寿命、引出束流、多电荷离子产额、束稳...
戴习毛
刘恺
伍三忠
龙会跃
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使用寿命
离子注入机
文献传递
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