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原小杰
作品数:
2
被引量:2
H指数:1
供职机构:
天津大学电子信息工程学院电子信息工程系
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相关领域:
电子电信
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合作作者
张世林
天津大学电子信息工程学院电子信...
梁惠来
天津大学电子信息工程学院电子信...
郭维廉
天津大学电子信息工程学院电子信...
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原小杰
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张世林
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Journa...
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1992
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1989
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梯形凸台衬底内条形半导体激光锁相列阵
被引量:1
1992年
在P型GaAs梯形凸台衬底上,利用一次液相外延技术,研制出内条形半导体激光锁相列阵.在直流工作条件下,单面最大输出功率超过136mW,平行于结平面方向远场半角宽度2.1°,器件最高激射温度超过80℃.
张世林
梁惠来
原小杰
杨德林
关键词:
半导体
激光
锁相列阵
液相外延
PECVD技术淀积硅pn结太阳电池的双层抗反射膜
被引量:1
1989年
等离子增强化学汽相淀积(PECVD)技术,已被广泛地应用于大规模集成电路的制作工艺中.等离子反应的最主要优点是其反应温度可远低于热反应和LPCVD反应发生的温度下进行.这一特点对于集成电路芯片的全钝化,浅结器件的制作,以及多层布线间的隔离提供了方便.
原小杰
毛干如
郭维廉
关键词:
PECVD
硅
电池
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