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吕志辉
作品数:
3
被引量:7
H指数:1
供职机构:
国防科学技术大学理学院
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发文基金:
国防科技大学预研基金
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相关领域:
电子电信
一般工业技术
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合作作者
孙全
国防科学技术大学理学院
何焰兰
国防科学技术大学理学院
黄水花
国防科学技术大学理学院
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原子力显微镜
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真空蒸发沉积
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2003年十...
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2003
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真空沉积法制备InSb纳米颗粒
被引量:6
2005年
采用真空沉积的方法在 Si O2 基片上制备出了纳米 In Sb颗粒薄膜。利用原子力显微镜对 4片样品表面进行分析 ,从其表面形貌图和三维图中可以观察到有粒径均匀的纳米 In Sb颗粒形成并且均匀地分布在 Si O2 基片表面。实验表明 ,通过改变镀膜时间可以得到具有不同颗粒尺寸的 In Sb纳米颗粒 。
孙全
何焰兰
吕志辉
黄水花
关键词:
真空蒸发沉积
原子力显微镜
制备InSb纳米颗粒
本文用真空镀膜的方法制备了镶嵌在SiO2基片上的纳米InSb颗粒.用原子力显微镜扫描样品表面显示,纳米InSb颗粒均匀地镶嵌在SiO2基片表面.分析扫描图可以得出:通过改变镀膜时间,可以得到具有不同颗粒尺寸的InSb纳米...
孙全
吕志辉
何焰兰
关键词:
真空镀膜
原子力显微镜
文献传递
InSb纳米颗粒的制备与原子力显微镜
被引量:1
2004年
为进一步研究半导体纳米材料的物理特性,用真空沉积的方法在SiO2基片上制备了纳米InSb颗粒膜。用原子力显微镜扫描样品表面的分析显示,纳米InSb颗粒均匀地分布在SiO2基片表面。实验结果表明通过改变镀膜时间,可以得到具有不同颗粒尺寸的InSb纳米颗粒。
何焰兰
孙全
吕志辉
关键词:
真空蒸发沉积
原子力显微镜
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