崔继文
- 作品数:215 被引量:269H指数:10
- 供职机构:哈尔滨工业大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国博士后科学基金更多>>
- 相关领域:电子电信自动化与计算机技术机械工程理学更多>>
- 基于偏振态检测的温度自补偿双光纤耦合球微尺度传感器
- 一种基于偏振态检测的温度自补偿双光纤耦合球微尺度传感器属于精密仪器制造及测量技术;传感器包括偏振光发生装置、半透半反棱镜、波片、测量探针、偏振态检测装置、温度补偿装置、计算机,其中偏振光发生装置、半透半反棱镜、波片、测量...
- 崔继文李俊英谭久彬
- 文献传递
- 基于光栅的跟随式三维光电自准直方法与装置
- 基于光栅的跟随式三维光电自准直方法与装置属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域;本发明采用一维反射光栅作为敏感器件,一维透射光栅作为光路校正器件,保证待测光束与入射光束光轴平行,在实现高精度三维角度变化量测量的同时,极大...
- 崔继文任文然谭久彬南芳
- 文献传递
- 一种基于并列动磁钢的直线运动装置
- 本发明公开一种基于并列动磁钢的直线运动装置;该装置将磁钢并行排列并置于双层线圈中间,通过对线圈中电流来驱动运动滑块部件的直线运动,这种“三明治”型的并列动磁钢结构能够在提供足够的电机出力的同时,不会产生额外的偏转力矩,但...
- 吴剑威温众普陈天风崔继文谭久彬
- 文献传递
- 一种过梁式步进扫描和三节拍双工件台交换装置与方法
- 一种过梁式步进扫描和三节拍双工件台交换装置与方法属于半导体制造装备技术领域,该系统含有设置在同一基台上的运行于曝光工位的硅片台和运行于预处理工位的硅片台,在基台边缘分别设置有4个Y方向直线运动单元和2个X方向直线运动单元...
- 谭久彬王绍凯崔继文
- 基于光程倍增补偿方法的二维光电自准直装置和测量方法
- 本发明属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域,特别涉及一种基于光程倍增补偿方法的高精度二维光电自准直装置和测量方法。该装置包括依次放置的激光光源、分划板、主分光镜、主CCD图像传感器、准直物镜、测量反射镜,在激光光源和分...
- 谭久彬敖磊崔继文
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- 激光CCD自准直仪圆目标中心抗噪声精确定位方法被引量:10
- 2006年
- 为满足高精度计量和方位瞄准跟踪系统的发展对激光CCD自准直仪测量精度的要求,提出一种基于正交傅里叶-梅林矩的激光CCD自准直仪圆目标中心抗噪声精确定位方法。首先利用正交傅里叶-梅林矩(OFMM)的幅值旋转不变性和更低径向矩阶数在充分提取图像边缘细节信息的同时抑制图像噪声的影响,通过对图像边缘旋转后垂直方向上不同阶次的正交傅里叶-梅林矩之间关系的分析将圆目标轮廓定位至亚像素级,然后采用最小二乘拟合方法实现圆目标中心的精确定位。结果表明,该方法稳定性好,定位精度高且抗干扰能力强,改进后的激光CCD自准直仪的测量分辨力提高了10倍,测量精度由2″提高到±0.18″,可有效满足在小角度测量和瞄准等领域的高精度测量需要。
- 敖磊谭久彬崔继文康文静
- 关键词:激光技术亚像素边缘定位最小二乘拟合
- 基于自组装原理的四芯光纤光栅微尺度测量探针制作方法
- 基于自组装原理的四芯光纤光栅微尺度测量探针制作方法属于精密仪器制造技术领域;本方法采用机械加工或氢氟酸光纤腐蚀处理的方式减小刻写光纤光栅后的单模光纤的直径,再将四根直径减小后的刻写光纤光栅后的单模光纤穿过带有内锥角的细管...
- 崔继文冯昆鹏党竑朱圣琪谭久彬
- 基于光纤环形激光器的四芯光纤光栅探针微尺度测量装置及方法
- 基于光纤环形激光器的四芯光纤光栅探针微尺度测量装置及方法属于精密仪器制造及测量技术领域;所述装置包括泵浦源、波分复用器、掺铒光纤、饱和吸收体、多路光开关、外部参考光栅、四芯光纤光栅探针、计算机、光谱分析仪,泵浦源通过波分...
- 崔继文胡洋冯昆鹏谭久彬
- 文献传递
- 基于正交二维微焦准直的微孔测量装置与方法
- 基于正交二维微焦准直的微孔测量装置与方法属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域;支撑底座上装配两个支撑架,支撑架上装配横梁,支撑底座的凹槽内装配Z向运动部件,Z向测长装置装配在Z向运动部件的侧面,工作台固定在Z向运动部件...
- 崔继文李俊英李磊杨福铃谭久彬
- 双工件台宏微交接系统设计及实验被引量:3
- 2015年
- 为了减少光刻机双工件台换台的时间,保证宏动系统与微动台的可靠连接,设计了一种双工件台快速宏微交接系统。基于柔性杠杆机构设计系统的快速抓卡装置以保证结构的紧凑性,并对其锁紧力进行了分析;设计的抓卡装置中的柔性机构包括柔性杠杆及下夹板回复单元,采用有限元方法对其进行了分析。设计了快速抓卡装置的充放气回路;为了保证抓卡装置锁紧时的速度和安全性,气动系统可实现抓卡装置锁紧的3个动态过程,从而完成抓紧装置的缓冲锁紧。最后,搭建了抓卡装置下夹板运动测量实验平台和锁紧力测量实验平台。实验结果表明:抓卡装置下夹板的运动行程大于2 mm,能够保证宏动系统和微动台交接过程的安全性。抓卡装置的开启时间为350 ms,快速缓冲锁紧时间为850ms,可承载的X向驱动力大于700N。该系统满足双工件台工作及换台过程对可靠性和快速性的要求。
- 吴剑威袁勇崔继文刘永猛谭久彬
- 关键词:光刻机