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常海涛
作品数:
14
被引量:20
H指数:3
供职机构:
中国计量科学研究院
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相关领域:
机械工程
一般工业技术
电子电信
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合作作者
叶孝佑
中国计量科学研究院
高宏堂
中国计量科学研究院
孙双花
中国计量科学研究院
张晓
浙江省计量科学研究院
甘晓川
中国计量科学研究院
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2m激光干涉测长基准装置
被引量:10
2012年
阐述了2m激光干涉测长基准装置工作原理及系统组成,以线间距测量功能为基础,研究了接触式和非接触式的几何测长对准方法,实现了其测长功能拓展应用。介绍了实现纳米精度测长的技术措施。对称布局的双光电显微镜同步扫描测量接长的方式实现2m刻线间距测量,信号处理系统具有标准间距位置脉冲发生功能,可以实现位移传感器动态触发校准和其它应用。对于高质量的线纹尺,2m激光干涉测长基准装置单次测量刻线间距的最佳瞄准精度优于10nm(1σ),1m测量范围内的线纹测量不确定度U=(20+40L)nm(k=2)。
叶孝佑
高宏堂
孙双花
邹玲丁
沈雪萍
甘晓川
常海涛
张晓
关键词:
计量学
一种基于高速A/D的刻线瞄准信号处理方法
被引量:3
2008年
介绍了基于高速A/D信号处理方法的系统组成和工作原理,包括对瞄准信号的模拟信号调理、A/D采样、数字信号处理等环节,能够实现2nm的瞄准分辨率,可用于激光干涉比长仪的动态显微瞄准系统。通过实验验证了方法的可行性,即使在干扰较大的非理想波形信号的情况下也能得到对刻线瞄准的较高的重复性。
张晓
叶孝佑
孙双花
高宏堂
常海涛
关键词:
计量学
光电显微镜
数据处理
基于FPGA的正交信号细分系统研究
2008年
介绍了一种新的基于FPGA的纯硬件细分系统,该系统主要由模拟信号处理和集成于同一FPGA芯片上的坐标变换、FIFO存储器、FIR滤波器几个部分组成。采用了集成化和模块化设计,具有精度高、实时性好等特点。将此方法应用于2m比长仪的测长系统,通过实验验证了该细分系统的准确性及实用性。
常海涛
叶孝佑
孙双花
高宏堂
张晓
关键词:
计量学
信号处理
FPGA芯片
FIR滤波
一种实用的精密测量设备空气弹簧监控系统
2008年
介绍了典型空气弹簧系统的组成和原理。以此为基础,根据几何量精密测量的需要,研制了一种电子与机械相结合、安全可靠的空气弹簧自动监控系统。系统的关键部分包括气动升高安全控制机构和平台调平机构,基于计算机平台传感系统,信号分析处理和监测系统。该监控系统可直接用于大型高精度几何量测量设备(如激光干涉比长仪),实现仪器振动的隔离、自动调平、高度控制等功能。
高宏堂
叶孝佑
孙双花
常海涛
张晓
关键词:
计量学
空气弹簧
自动调平
提高环境参量法测量空气折射率精度的研究
被引量:4
2008年
介绍了应用Edlén经验公式的环境参量法测量空气折射率,分析和总结了提高其测量精度的措施,如公式的合理选用、环境参量测量传感仪表的选用等。从软硬件两个方面描述了实际折射率测量系统的构成,分析结果表明其测量标准不确定度达1.03×10^-8,可以满足高精度激光干涉测长的要求。
叶孝佑
甘晓川
常海涛
高宏堂
孙双花
张晓
关键词:
计量学
两米比长仪激光干涉测长信号处理系统的研究
干涉信号处理系统作为激光干涉系统的核心,一直倍受人们的关注。应用激光干涉仪测长,精度在很大程度上取决于干涉信号处理的好坏。为了达到纳米量级的测量精度,毫无例外均要求有准确的干涉信号误差补偿和高精度的细分方法。这两部分构成...
常海涛
关键词:
空气折射率
文献传递
2m比长仪测量滑板运动控制系统的实现
2008年
分析了2m激光干涉比长仪测量滑板运动控制系统的实现方法。设计了气液联动控制机构,以气压为动力,利用气液转换器把气压转换为液压来推动活塞杆控制测量滑板的运行速度和方向,将气压控制的响应快与液压控制的速度稳定性高的特点结合起来,并结合电气系统的控制灵活性,构成了电-气-液的多级控制结构。利用多个液压回路管路直径长度的变化控制测量滑板移动的无级调速,实现了测量滑板运动方向、速度、位置的精确控制,测量速度为2μm/s~10mm/s。系统充分发挥了电、气、液的控制优点,速度,位置控制精度高、运动平稳、可靠性好。
孙双花
叶孝佑
高宏堂
常海涛
张晓
关键词:
计量学
无级调速
轨迹跟踪式干涉信号计数细分装置
本实用新型公开了一种轨迹跟踪式干涉信号计数细分装置。该装置包括光电信号接收与转换电路、信号调理电路、至少两个模拟数字转换器、位置跟踪脉冲发生电路、细分电路模块、大小数结合及位移解算电路等。其中,通过对双路干涉信号分析处理...
高宏堂
叶孝佑
常海涛
文献传递
基于FPGA的正交信号细分系统研究
介绍了一种新的基于FPGA的纯硬件细分系统,该系统主要由模拟信号处理和集成于同一FPGA芯片上的坐标变换、FIFO存储器、FIR滤波器几个部分组成.采用了集成化和模块化设计,具有精度高、实时性好等特点.将此方法应用于2 ...
常海涛
叶孝佑
孙双花
高宏堂
张晓
关键词:
信号处理
FPGA芯片
FIR滤波器
文献传递
轨迹跟踪式干涉信号计数细分装置及方法
本发明公开了一种轨迹跟踪式干涉信号计数细分装置及方法。该装置包括光电信号接收与转换电路、信号调理电路、至少两个模拟数字转换器、位置跟踪脉冲发生电路、细分电路模块、大小数结合及位移解算电路等。其中,通过对双路干涉信号分析处...
高宏堂
叶孝佑
常海涛
文献传递
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